Ионные микроскопы

Чем интересны гибридные системы электронной и ионной оптики

Электронно-ионные микроскопы — смешанные системы, состоящие из сканирующего электронного и ионного микроскопа (ФИП). Комбинированные двухлучевые системы дают хорошие возможности при микроскопической диагностике. СЭМ не повреждает образец, дает высокое разрешение, а ионный микроскоп предоставляет изображения с отменной контрастной способностью.

Считается, что двухлучевые приборы являются универсальным инструментом электронной микроскопии. Они широко применяются при металлообработке, металлографии, производстве полупроводниковых схем. Для производства микроэлектроники это вообще единственная система, которая способна замерить толщину слоев и размер элементов, а также обнаружить дефекты.

Совмещение СЭМ и ФИП позволяет исследовать любые образцы нано- и микрометрового масштабов в режиме высокого и низкого вакуума. Гибкость управления лучами позволяет сформировать или модифицировать поверхность с заданным рельефом.

Сочетание в одном приборе электронного и ионного источников позволяет исследовать материалы в нанодиапазоне. Этот метод основан на фокусировании тонкого пучка ионов галлия. Метод можно применить:

• наблюдения внутренней структуры образца,
• выявления внутренних дефектов,
• для ионной обработки при изготовлении оптики, микроэлектроники,
• при рассматривании поверхностей наноразмерных материалов,
• подготовка образцов для ПЭМ.

Электронно-ионные микроскопы купить могут не только предприятия занимающиеся выпуском интегральных схем. Он будет полезен практически во всех областях науки, так как решает самые сложные задачи в течение нескольких часов, в отличие от стандартных оптических приборов. Цена на двухлучевые микроскопы высокая, но она себя оправдывает в процессе применения.

Ваша производственная или научная лаборатория заинтересована исследовать наноразмерные объекты? Обращайтесь в нашу компанию, получите полную информацию о двухлучевых системах.