Ионные микроскопы FEI V400ACE FIB
- Под заказ
Отправка с 14 мая 2026Цену уточняйте
Ионный микроскоп V400ACE объединяет в себе последние разработки в проектировании ионной колонны, подачи газа и точечного позиционирования для обеспечения быстрого, эффективного, экономичного производства интегральных схем. Система позволяет производителям полупроводниковых схем развести проводящие дорожки и протестировать работу измененных схем в течение считанных часов, а не недель или месяцев, которые потребуются для создания новых масок и обработки новых пластин традиционными методами.
Ионная колонна Tomahawk обеспечивает непревзойденные возможности при непрерывной работе в диапазоне ускоряющего напряжения от 30 кВ до 0,5 кВ. Высокая плотность тока при травлении при ускоряющем напряжении 30 кВ обеспечивает быстрое удаление материала и увеличение пропускной способности, в то время как работа при низком напряжении используется для селективного травления меди.
Области применения: микроэлектроника, нанотехнологии.
Основные преимущества:
- Система подачи газа NanoChemix обеспечивает повышенную скорость, гибкость, однородность и качество удаления материала и его осаждения
- Ионная колонна Tomahawk обеспечивает больший ток на меньшую площадь поверхности для более быстрого и точного травления
- Лучшая в своем классе система подготовки тонких образцов для 3D исследования и анализа
- Разрешение изображения 4,5 нм при ускоряющем напряжении 0,5 кВ - 30 кВ
Технические характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|
Ионная оптика |
Ионная колонна Tomahawk. |
|
Разрешение |
4,5 нм |
|
Ускоряющее напряжение |
От 0,5 кВ до 30 кВ |
|
Ток зонда |
от 0,6 пА до 65 нA |
|
Столик: |
|
|
- Тип |
Эвцентрический столик с пьезоприводом, моторизованный по 5 осям |
|
- Ход по осям X и Y |
|
|
- Поворот |
n x 360° |
|
- Наклон |
-10° …+60° |
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | FEI |
| Страна производитель | США |
| Состояние | Новое |
- Цена: Цену уточняйте
