Ионные микроскопы FEI Vion Plasma FIB
- Под заказ
Отправка с 14 мая 2026Цену уточняйте
Описание:
Vion Plasma FIB является инструментом, способным проводить точную резку и травление с высокой скоростью. Он обладает возможностью избирательного травления заданных областей образца и химического осаждения материала. Используемый в Vion Plasma FIB источник плазмы обеспечивает 20 – 60 раз более высокие токи пучка, чем традиционные ионные микроскопы с использованием ионов галлия, сохраняя при этом все возможности использования низкого тока пучка. Кроме того, в камере могут быть введены различные газы, оказывающие влияние на взаимодействие пучка с поверхностью образца и вызывающие осаждение материала (изолятора или проводника)..
Области применения:
материаловедение, микроэлектроника, нанотехнологии.
Основные преимущества:
- Повышение производительности по сравнению с ионными микроскопами с использованием ионов галлия: увеличение скорости травления более чем в 20 раз
- Быстрое и точное приготовление срезов позволяет исследовать скрытые дефекты образца
- Широкий диапазон токов пучка для травления и получения изображений
- Использование возможностей химического осаждения для защиты характерных особенностей поверхности
Технические характеристики:
|
Характеристика |
Значение |
|
Ионная оптика |
Ионная колонна Sidewinder. |
|
Разрешение |
Менее 25 нм |
|
Ускоряющее напряжение |
От 2 кВ до 30 кВ |
|
Ток зонда |
от 1,5 пА до 1,3 мкА |
|
Столик: |
|
|
- Тип |
Эвцентрический столик, моторизованный по 5 осям |
|
- Ход по осям X и Y |
150 х 150 мм |
|
- Поворот |
n x 360° |
|
- Наклон |
-10° …+60° |
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | FEI |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
