Описание
MicroProf® 300 входит в ряд высокопроизводительного и широкоиспользуемого оборудования MicroProf®. Прибор активно применяется для гарантии качества, разработки и производства. Малейшие отклонения параметров поверхности от идеальных определяются устрйоством бесконтактно без какого-либо повреждения образца даже на субмикронном уровне. Кроме шероховатости поверхности, важна и её форма. Довольно узкие пределы отклонений от нормы должны определяться предельно точно. MicroProf® 300 идеально подходит под все эти требования, а также без проблем интегрируется в процесс производства с полной автоматизацией. Обширный выбор датчиков и возможность проведения двустороннего контроля образца (TTV) позволяют адаптировать прибор оптимальным и индивидуальным образом к Вашим задачам. Более того, автоматизация значительно улучшает производительность и надежность процесса.
Возможности измерения:
- Шероховатость, высота ступеньки
- Толщина слоя, износ
- Деформации, контроль дефектов
- Трехмерное отображение, волнистость
- Изгибы, двусторонний контроль образца
- Ровность, топография
Системные характеристики
- Полная мультисенсорность
- Встроенная CCD камера с дополнительным освещением
- Долговечный и энергосберегающий светодиод (LED)
- Протестированная FRT CWL технология
- Моторизированные датчики с высокоточной осью
- Функция вертикальной сшивки для расширения диапазона измерения высоты
- Устройство для управления и проведения измерений с TTF монитором
- Легкое и эффективное управление прибором с помощью FRT Acquire
Преимущества
- Привлекательное соотношение цена-качество
- 3D измерения с микро- и наноразрешением
- Гарантия профессионального качества благодаря сверхточной оптической измерительной технике
- Высокопроизводительный и в то же время экономичный измерительный прибор
- Долговечное, надежное и легкообслуживаемое устройство
- Быстродоступность и простота эксплуатации
- Консультационная поддержка опытными FRT экспертами
- Профессиональная и общемировая сеть обслуживания
Принцип измерения
The MicroProf® 300 – это один из мультисенсорных измерительных приборов производства FRT, который гибко приспосабливается к требованиям пользователя с помощью обычной смены датчиков. Кроме прочих методов используется принцип хроматического измерения расстояний. Белый свет фокусируется на поверхности измерительной головкой с фокусным расстоянием, строго зависящим от длины волны.
Спектр рассеянного по поверхности света имеет характерный пик, характеристики которого используются для определения высоты образца. Измерительный прибор подходит для широкого спектра материалов: прозрачных пластиков, сильно отражающих зеркал и даже светопоглощающих пооверхностей.
Система |
|
Конструктив |
Портал |
Датчики |
Мультисенсор |
Scanning Stage |
|
Область перемещения |
415 мм x 305 мм |
Привод |
Прямой |
Подшипник |
Крестороликовый |
Шаговое разрешение |
50 нм |
Ровность |
< 2 мкм / 100 мм |
Макс. скорость |
300 мм / с |
Нагрузка |
5 кг |
z-ось |
Моторизированная |
Вертикальное перемещение |
50 мм (100 мм опционально) |
Системные требования |
|
Общие требования |
Чистота, отсутствие вибраций, постоянная температура |
Входное напряжение |
110 В / 220 В переменного тока, 1 фаза |
Размер (Длина x Ширина x Высота) |
1200 мм x 800 мм x 1500 мм |
Вес |
Примерно 700 кг |
Измерительная головка |
CWL 600 мкм |
Диапазон измерений xy |
415 мм x 305 мм |
Диапазон измерений z |
600 мкм |
Продольное разрешение |
2 мкм |
Вертикальное разрешение |
6 нм |
Основные | |
---|---|
Производитель | FRT |
Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте