Описание
Характеристики
Информация для заказа
CLM-3D является полноценной автозагрузочной платформой, предназначенной для автоматизированных двухлучевых систем, осуществляющих цифровой трехмерный анализ полупроводниковых приборов в условиях чистой комнаты. Система сочетает в себе электронную колонну нового поколения и ионную колонну с большим током, которые обеспечивают высокую точность для приготовления поперечных срезов для задач метрологии.
Двухлучевая система CLM-3D специально разработана для анализа подповерхностных особенностей полупроводниковых приборов.
Основные преимущества
- Достоверные результаты в метрологии, ускорение выхода на рынок суб-130 нм технологии
- Истинные поперечные сечения в метрологии для получения реальных статистических данных
- Более быстрое развитие, детализация и пригодность лито-травления пленки и использования меди в процессах
- Графический программный интерфейс IC3D для удобства использования и высокой производительности
- Быстрое время получения данных для любой техники приготовления срезов
- Автоматический режим работы
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | FEI |
| Страна производитель | США |
| Состояние | Новое |
- Цена: Цену уточняйте


Отправка с 15 мая 2026