Система фокусированного пучка ионов FEI V400ACE

Описание:

Система фокусированного пучка ионов V400ACE объединяет в себе последние разработки в проектировании ионной колонны, подачи газа и обнаружения конечной точки для обеспечения быстрого, эффективного, экономичного редактирования передовых интегральных схем. Редактирование схем позволяет производителям продуктов развести проводящие цепи и протестировать измененные схемы в течение считанных часов, а не недель или месяцев, которые потребуются для создания новых масок и обработки новых пластин.

Более редкие и короткие модификации и циклы испытаний позволяют производителям использовать новые процессы для получения большей выгоды, и быть первыми на рынке с лучшими ценами на новые продукты. Микроскоп V400ACE специально разработан для решения проблем передовых проектов и процессов: меньшие размеры, более высокая плотность микросхем, необычные материалы и сложные соединения структур.

V400ACE может быть настроен на редактирование с тыльной стороны с помощью дополнительного инфракрасного микроскопа и комплекта для создания канавок в подложке из цельного кремния.

Ионная колонна Tomahawk.

Tomahawk обеспечивает непревзойденные универсальные возможности при бесперебойной работе 30 кВ до 2 кВ. Высокая плотность тока при травлении 30 кВ обеспечивает быстрое удаление материала и увеличение пропускной способности, в то время как работа при низком напряжении используется для селективного травления меди.

Система газоподачи NanoChemix.

Инструменты для редактирования схем с помощью сфокусированного ионного пучка используют управляемую подачу контролируемого количества специальных газов, которые вводятся вблизи пучка и поверхности образца для повышения скорости и селективности процесса травления и передачи проводящих и изолирующих материалов в точно контролируемые области поверхности образца. Инновационная система поставки газа увеличивает гибкость редактирования с регулировкой давления и использованием широкого спектра твердых, жидких или газообразных материалов-прекурсоров.

Детекторование по конечной точке.

Синхронное и автоматически масшабируемое снятие сигналов вторичных электронов и тока через образец обеспечивает надежное и точное определение «конечной точки», когда процедура травления достигает своей цели.

Основные характеристики:

• Быстрая и точная модификация схем позволяет проектировать изменения в течение нескольких часов без обработки нового кремния
• Система подачи газа NanoChemix обеспечивает повышенную скорость, гибкость, однородность и качество удаления материала и его осаждения
• Ионная колонна Tomahawk обеспечивает больший ток на меньшую площадь поверхность для более быстрого и точного травления
• Одновременное детектирование вторичных электронов и тока через образец улучшает обнаружение конечной точки
• Быстрое и точное кросс-секционирование обнаруживает дефекты и особенности, находящиеся под поверхностью образца
• Лучшая в своем классе система подготовки тонких образцов для 3D исследования и анализа
• Разрешение в режиме ионного пучка4.5 нм
• Напряжение пучка 0.5 кВ – 30 кВ
• Ток пучка 1.1 пА – 65 нА
• Ионная колонна Tomahawk, жидкометаллический галлий (более 1000 часов гарантированной работы)