Криогенные (криосорбционные) вакуумные насосы SHI Cryogenics

Описание

Крионасосы серии Marathon были специально разработаны для высоковакуумных применений. Эти универсальные системы находят свое применение как в небольших научных лабораториях, так и на массовом производстве. В таких отраслях как производство полупроводниковых устройств, плоских дисплеев, испытательного оборудования, солнечных батарей, а также различных напылительных установок, предъявляют высокие требования к эффективности и надежности оборудования, при этом эксплуатационные затраты должны быть минимальные. Крионасосы Marathon CP имеют успех в любых областях применений.

Модельный ряд крионасосов Marathon CP – это 8 вариантов исполнений с диаметром фланца от 200 до 500мм. Стандартный модельный ряд и насосы с малой производительностью имеют следующие типоразмер фланцев - это ANSI, ISO и CF. Проектируя вакуумную систему, Вы также имеете возможность выбрать ручное или полностью автоматическое управление.

Насосы Marathon просты в обслуживании, проведение работ осуществляется без разрыва вакуума и демонтажа насоса с вакуумной камеры. В результате, бесперебойная работа насоса максимизирует время продуктивной работы, и уменьшают эксплуатационную стоимость. 

Marathon® Cryopump Controller

Контроллеры MCC позволяют полностью автоматизировать работу насосов Marathon, используя хост-компьютер и протокол, стандартизованный в промышленности. Если на вашем предприятии нет хост-компьютера, дополнительное программное обеспечение позволит использовать обычный компьютер с операционной системой Windows. Использование крионасосов Marathon с контроллерами MCC позволяет значительно сократить время простоя оборудования между производственными циклами, улучшить длительность производственного цикла и существенно повысить общую эффективность процесса откачки.

SICERA™ Cryopump

При мощности всего 0,9кВт, благодаря запатентованной инверторной технологии, насосы серии SICERA меняют определение «низкое потребление энергии», уменьшая Ваши затраты на электроэнергию на 20-30%. Качественно новая система позволяет одновременно использовать до шести насосов (200мм) на одном компрессоре без уменьшения производительности.

Насосы серии SICERA доступны с размерами фланцев 200 и 300 мм, обе модели имеют полностью автоматический цикл регенерации, что позволяет максимизировать время продуктивной работы. В результате, экономия электроэнергии и увеличенная производственная эффективность делают насосы данной серии идеальными для таких применений как массовое производство полупроводниковых пластин, плоскопанельных дисплеев и прочих схожих производств.

В отличие от насосов, полностью готовые к работе системы SICERA включают в себя компрессор и переносной контроллер. Все компоненты системы проходят всесторонние испытания, чтобы соответствовать требованиям самых сложных вакуумных применений. Один контроллер может одновременно управлять работой десяти (10) крионасосов и двух (2) компрессоров, входящих в систему. Благодаря непрерывному контролю работы криокуллера и компрессора, системы SICERA – это значительная экономия затрат электроэнергии, непревзойденная стабильность температуры и уровня вакуума.