Рентгенофлуоресцентный анализатор с полным внутренним отражением Rigaku TXRF 3800е
- Под заказ
Отправка с 15 мая 2026Цену уточняйте
Описание
Анализатор TXRF 3800е разработан Rigaku для оценки загрязнения поверхности в отдельной точке или для создания карты загрязненности всей поверхности. Рентгенофлуоресцентный анализатор может оценить загрязненность поверхности во всех функциональных процессах, включая стадии очистки, литографии, травления, озоления и т.д. TXRF 3800е оценивает содержание элементов периодической таблицы Менделеева от 16S до 92U, имеет 2-х лучевую систему рентгеновского излучения и новую жидкостную безазотистую систему детектирования.
Анализатор TXRF 3800е включает в себя ступенчатую систему анализа “X-Y-θ”, запатентованную компанией Rigaku, роботизированную систему транспортировки пластин в вакууме и новое, удобное в использовании, программное обеспечение. Все это способствует повышению пропускной способности анализатора и точности рутинных анализов.
Дополнительное программное обеспечение, разработанное для анализатора TXRF 3800е, позволяет увидеть и оценить распределение загрязненности по всей площади анализируемой поверхности, выявить «горячие зоны» и повторно их проанализировать с повышенной точностью.
Все вышеперечисленные функции объединены в новом, компактном и эффективном дизайне. Анализатор занимает мало рабочего пространство, что особенно актуально для чистых помещений.
Преимущества:
- Простота эксплуатации и быстрое получение результатов анализа.
- Анализ пластин 200 мм и менее.
- Компактный дизайн.
- Запаянная рентгеновская трубка источника рентгеновского излучения.
- Широкий диапазон анализируемых элементов (от 16S до 92U).
- Применим для анализа очищенного Si и подложек без Si.
Технические характеристики
- Размер пластин, мм Макс. 200
- Источник рентгеновского излучения: Запаянная трубка
- Детектор: Жидкостной, безазотный
- Анализируемые элементы: ₁₆S ~ ₉₂U
- Оптика: С автоматическим выравниванием
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Rigaku |
| Страна производитель | Япония |
| Состояние | Новое |
- Цена: Цену уточняйте
