Описание
Анализатор TXRF 3760 разработан Rigaku для оценки загрязнения поверхности в отдельной точке или для создания карты загрязненности всей поверхности. Рентгенофлуоресцентный анализатор может оценить загрязненность поверхности во всех функциональных процессах, включая стадии очистки, литографии, травления, озоления и т.д. TXRF 3760 оценивает содержание элементов периодической таблицы Менделеева от 11Na до 92U, имеет 3-х лучевую систему рентгеновского излучения и твердотельный детектор.
Анализатор TXRF 3760 включает в себя ступенчатую систему анализа “X-Y-θ”, запатентованную компанией Rigaku, роботизированную систему транспортировки пластин в вакууме и новое, удобное в использовании, программное обеспечение. Все это способствует повышению пропускной способности анализатора и точности рутинных анализов.
Дополнительное программное обеспечение, разработанное для анализатора TXRF 3760, позволяет увидеть и оценить распределение загрязненности по всей площади анализируемой поверхности, выявить «горячие зоны» и повторно их проанализировать с повышенной точностью.
Преимущества:
- Простота эксплуатации и быстрое получение результатов анализа.
- Анализ пластин 200 мм и менее.
- Компактный дизайн.
- Высокомощный вращающийся анод.
- Широкий диапазон анализируемых элементов (от 11Na до 92U).
- Светочувствительность к элементам 11Na, 12Mg и 13Al.
- Применим для анализа очищенного Si и подложек без Si.
Технические характеристики
- Размер пластин, мм: Макс. 200
- Источник рентгеновского излучения: Вращающийся анод
- Детектор: Твердотельный
- Анализируемые элементы: ₁₁Na ~ ₉₂U
- Оптика: С автоматическим выравниванием
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Rigaku |
| Страна производитель | Япония |
| Состояние | Новое |
- Цена: Цену уточняйте


Отправка с 15 мая 2026