Волнодисперсионный рентгеновский флуоресцентный спектрометр Rigaku WaferX 310

Описание

Компания Rigaku уже более 35 лет занимается опытной работой в области рентгеновской флуоресценции. Спектрометр WaferX 310 разработан с применением самых передовых технологий в области волнодисперсионной рентгеновской флуоресценции, специально для анализа тонких пленок на кремниевых пластинах. WaferX 310 – это метрологический инструмент, способный анализировать образцы на пластинах диаметром 150 мм, 200 мм и 300 мм (новинка).

Волнодисперсионный рентгеновский флуоресцентный спектрометр WaferX 310 проводит одновременный анализ толщины и состава образца. Идеально подходит для образцов борофосфосиликата (BPSG), PSG и металлических пленок, а так же, тонких пленок BPSG, многослойных пленок, WSix (силицид вольфрама), электродных пленок, тонких ферро-диэлектрических пленок, FRAM, DRAM и SiOF.

Кроме всего выше перечисленного, точность анализа была значительно повышена за счет использования рентгеновской трубки высокой мощности в 4 кВт, что подходит даже для изучения сверх легких элементов, таких как бор (B) и фтор (F), в составе BPSG пленок.

Спектрометр WaferX 310 использует в своей конструкции механизм регулировки высоты подложки и механизм устранения дифракции, что позволяет скомпенсировать разницу в образцах и предотвратить ошибки вызванные дифракцией. Кроме этого, возможна установка стандартного механического интерфейса SMIF (Standard Mechanical InterFace) или FOUP (Front Opening Unified Pod), в соответствии со стандартом “C-to-C”.

Преимущества:

• Единовременный анализ толщины и состава пленки.
• Применим для всех типов пленок.
• Анализируемые пластины диаметром 150 мм, 200 мм и 300 мм.
• Высокая точность анализа, стабильность и аналитическая эффективность.
• Запатентованный механизм устранения дифракции для получения точных результатов рентгенофлуоресцентного анализа.
• Твердотельный, безмасляный рентгеновский генератор.
• Установка FOUP (для пластин Ø 300 мм на 13 или 25 шт.), SMIF (для пластин Ø 150 мм и 200 мм на 25 или 26 шт.) и “through-the-wall” конфигурации для большей производительности.
• Соответствует стандартам безопасности SEMI S2-0310.

Технические характеристики

• Размер пластин, мм: 150 / 200 / 300
• Одновременный анализ: Макс. 21 канал
• Анализируемые элементы: Фиксирующий тип: ₄Be ~ ₉₂U; Сканирующий тип: ₂₂Ti ~ ₉₂U.
• Материал анода источника излучения: Rh
• Мощность источника излучения, кВт: 4
• Источник рентгеновского излучения: Твердотельный, безмасляный
• Диаметр апертуры, мм: 10 / 20 / 40
• Программное обеспечение: ОС Window 7
• Детектор: Сцинтилляционный счетчик SC, пропорциональный счетчик S-PC, проточный пропорциональный счетчик F-PC
• Область анализа: R 1 мм