Вакуумные камеры МИКРОН

Описание

Основополагающим звеном любой вакуумной установки является вакуумная камера, на которую устанавливается все обрабатывающее и измерительное оборудование, а так же средства позволяющие достичь необходимого вакуума. От качества изготовления камеры зависит результат процесса, который реализуется в тех или иных вакуумных установках. Мы производим вакуумные камеры различных типоразмеров, от так называемых исследовательских камер, которые используются в лабораториях, до вакуумных камер промышленного объема для серийных заводов. Вакуумные камеры производства ИТЦ Микрон удовлетворяют современному уровню качества и приводятся в полное соответствие потребностям наших клиентов. Все вакуумные камеры проходят испытания на натекание, а так же могут быть оснащены дополнительными опциями в соответствие с техническим заданием.

Вакуумные камеры МИКРОН используются в широком диапазоне изделий и технологий, например в таких как:

• вакуумные электротермические печи;
• установки магнетронного и дугового декоративного нанесения покрытий;
• установки осаждения тонких пленок;
• масс-спектрометрия;
• установки электронно-лучевого распыления.

В вакуумных установках часто производятся процессы с большим выделением тепла, что требует применения вакуумных камер с возможностью охлаждения стенок и фланцев. Как правило, это имеет место при проведении CVD и PVD процессов, выращивания кристаллов, и, конечно же, в вакуумных печах. Для таких случаев мы предлагаем использовать вакуумные камеры с двойной стенкой, либо камеры с наваренными C-каналами для отведения тепла. Наиболее технологичным и дешевым способом охлаждения вакуумных камер, на наш взгляд, является использование встроенной рубашки охлаждения.

В качестве материала для изготовления вакуумной камеры часто всего выбирается нержавеющая сталь AISI 304, однако на сегодняшний день камеры и части вакуумных систем могут изготавливаться и из AISI 310, AISI 321, AISI 316 в зависимости от требований технологии. Для облегчения массы вакуумной камеры и упрощения ее механической обработки мы часто применяем сплавы алюминия, которые в некоторых случаях имеют еще и ряд преимуществ перед нержавеющими сталями, такие как более высокая теплопроводность, отсутствие углерода в составе материала, немагнитность, способность гасить вибрации и др… Более редко встречаются вакуумные камеры из меди и титана.

Технические возможности:

• Форм-фактор вакуумных камер: D-образные, цилиндрические, прямоугольного сечения.
• Охлаждение: возможно изготовление вакуумной камеры с каналами охлаждения либо с рубашкой.
• Уплотнения: резина/витон или медь.
• Обработка: опционально – полировка внутренней, внешней поверхности вакуумной камеры, пескоструйная обработка. До определенных размеров возможна электро-химическая полировка.
• Материал: AISI 304, AISI 310 либо аналоги.

Высоковакуумные камеры до 10^-5 - 10^-4 Па.

Высоковакуумные камеры предназначены для получения вакуума до 10^-5 - 10^-4 Па. Такие вакуумные камеры применяются, например, для диффузионной сварки, нанесения покрытий, термообработки. Камеры могут исполняться цилиндрической формы - вертикальной и горизонтальной, а также прямоугольной формы – в зависимости от геометрии загрузки вакуумной камеры. Если в процессе работы вашей установки внутри вакуумной камеры выделяется тепло, то камера снабжается системой охлаждения различного исполнения, для отведения тепла и защиты уплотнений от перегрева.

Форвакуумные камеры до 10^-3 - 10^-2 Па.

Форвакуумные камеры могут также исполняться различной формы, из нержавеющей стали или стали других типов. Применение таких камер весьма широко - например, это могут быть сушильные камеры, разрядные камеры и т.д.