Система травления ионным пучком Nordiko N2000
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
История компании Nordiko начиналась с разработки и производства вакуумных систем осаждения тонких пленок при применении магнетронов в качестве источников потоков осаждаемого на подложку материала. Только после 10-лет разработки таких систем компания начала разработку и создание установок с ионными пушками для травления и нанесения тонких пленок. И вот в ответ на запросы заказчиков компания разработала и выпустила на рынок установку серии N2000.
Установка представляет собой компактную систему с 4-мя магнетронами диаметром по 150 мм установленных конфокально к манипулятору подложек. Манипулятор подложек имеет функцию вращения и может работать с подложками до 200 мм в диаметре.
Установку можно дооснастить вакуумной загрузочной камерой с подачей пластин по одной или загрузочной камерой с кассетой на 25 пластин или экономичным вариантом с кассетой на 4 пластины.
Особенности:
- Компактная система
- Напыление сверху-вниз
- Осаждение на вращаемый подожкодержатель
- Пластины до 200 мм
- Изменяемое расстояние источники-подложка
- Возможна одновременная работа нескольких магнетронов в цикле
- Реактивное осаждение пленок
- ВЧ/ПТ работа источников питания
Опции:
- ВЧ смещение на подложку
- Нагрев подложек
- Проекция магнитного поля в области подложки
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Страна производитель | Великобритания |
- Цена: Цену уточняйте
