Система травления ионным пучком Nordiko Alfa 120
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Система травления ионным пучком Nordiko Alfa 120
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
Взяв за основу свой более чем 20-и летний опыт создания систем травления ионным пучком на базе ВЧ-технологии компания Nordiko разработала и выпустила на рынок установку серии Nordiko α120. Процессный модуль представляет собой изолированную вакуумную камеру с передней полнооткрываемой дверью, на камере смонтирован источник ионного потока с большой апертурой, внутри камеры манипулятор для подложек. Источник ионов может быть использован для генерации ионов аргона при ускоряющем напряжении от 100 до 600 В. Манипулятор подложек водоохлаждаемый с функцией осевого вращения подложек и возможностью изменения угла его наклона по отношению к ионному пучку.
Особенности:
- Компактная система
- Конфигурация изменяется легко под требования заказчика
- Ионный источник 15, 20, 25 см
- Нейтрализатор без накального катода
- Манипулятор гибко конфигурируется
- Высокопроизводительный сухой вакуумный насос
Опции:
- Криогенная откачка
- Травление с применением реактивного газа (RIBE, CAIBE)
- Определение точки окончания процесса травления по анализу вторичных ионов SIMS
- Вакуумная загрузочная камера
- Полная автоматизация
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Страна производитель | Великобритания |
- Цена: Цену уточняйте
