Cистема травления кремния ICP- RIE-600iPC
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Cистема травления кремния ICP- RIE-600iPC
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
RIE-600iPC – система травления с использованием индуктивно-связанной плазмы способная генерировать плазму с очень высокой плотностью. Система имеет вакуумную систему откачки с высокой проводимостью и в то же время с точным контролем давления, что позволяет проводить процессы как при низком, так и при высоком давлении в реакторе, больших и маленьких потоках газов. Более того, использование патентованной ВЧ катушки можно поддерживать горение плазмы при закачке больших ВЧ мощностей и при высоком давлении в реакторе. Применяемые совместно эти особенности позволяют пользователю использовать очень широкое процессное окно и подходит для высокоскоростного травления карбида и оксида кремния (SiC и SiO2).
Применение:
- Траншеи, сквозные отверстия, формирование масок SiO2 при производстве мощных SiC устройств.
- Производство оптических компонент (оптические волноводы и микролинзы).
- Производство микроканалов (микроотверстий).
- Производство сенсоров.
Преимущества систем SAMCO:
- Наиболее быстрые в индустрии скорости травления (свыше 50 мкм/мин)
- Высокая селективность, сыше 250:1 (Si к фоторезисту)
- Однородность травления ± 5% или лучше (на подложках до 200 мм в диаметре)
- Высокое аспектное соотношение (лучше чем 40:1)
- Низкая шероховатость стенок, гладкий профиль стенок (неоднородности шероховатости менее чем 0,1 мкм)
- Патентованная технология против подтрава стенок на дне траншей (структур) с применением двух ВЧ мощностей при травлении структур SOI.
- Уникальная особенность «анти-наклон», которая позволяет получать высокую однородность
- Электростатический прижим подложек и охлаждение обратной стороны гелием (для более точного контроля температуры подложек)
- Смена ICP-источника (головы) для травления DRIE или SiO2
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Производитель | Samco |
| Страна производитель | Япония |
- Цена: Цену уточняйте
