Рентгено-электронный спектрометр ULVAC-PHI PHI Quantes

Описание:

Спектрометр PHI Quantes оснащен двойным сканирующим источником рентгеновского излучения, состоящего из источника жёсткого рентгеновского излучения (Cr Kα) и обычного мягкого рентгеновского излучения (Al Kα), которые имеют разные значения энергии.

Этот ультрасовременный инструмент обладает возможностью анализировать как очень маленькую, так и большую площадь однородной поверхности образца. Переключение между двумя различными типами источников рентгеновского излучения может происходить автоматически, что позволяет пользователям анализировать одну и ту же область и/или точки образца. PHI Quantes спроектирован на базе устройства PHI Quantera II, поэтому обладает такими функциональными возможностями, как автоматический анализ, автоматический перенос проб, нейтрализация заряда и усовершенствованная обработка данных.

PHI Quantes ‒ это инструмент для рентгено-электронной спектроскопии, предназначенный для создания новых методов и применений. 

Ключевые технологии:

1.    Двойной сканирующий рентгено-электронный микрозонд, оснащенный источником жесткого рентгеновского излучения

• Двойной сканирующий монохроматический источник рентгеновского излучения

Оснащённый двойным сканирующим рентгеновским источником, состоящим из монохроматических Cr Kα (5,4 кэВ) и Al Kα (1,5 кэВ), PHI Quantes способен визуализировать вторичные электроны (SXI) путем сканирования рентгеновского луча над образцом, что позволяет точно определять области и/или точки для анализа. Улучшенное ПО SmartSoft-XPS позволяет контролировать позицию анода и движение механического затвора, что позволяет быстро переключаться между Cr Kα и Al Kα. Переключение не требует корректировок, что дает возможность легко измерять одни и те же области или точки как с Cr Kα, так и с Al Kα. 

• Двухлучевой источник для легкого измерения одной точки

Программный контроль анода с рентгеновским излучением позволяет быстро переключаться между Cr Kα и Al Kα. Переключение не требует никаких настроек, что позволяет легко измерять одно и то же место как с Cr Kα, так и с Al Kα.

 
Схематическое изображение двойного сканирующего рентгеновского излучения

Визуализация вторичных электронов с двумя лучами

• Нейтрализация заряда

В устройстве используется новая запатентованная технология нейтрализации заряда, которая позволяет автоматически компенсировать заряд заряженной поверхности образца, которая  доступна на PHI Quantes и в других устройствах серии PHI XPS, а также при использовании Cr Kα.

Схематическое изображение системы нейтрализации заряда

F 1s и C 1s спектры фторопласта, измеренные с использованием Cr Kα

• Режим автоматического анализа

Полностью автоматизированная процедура анализа может быть легко запрограммирована, даже если для этого потребуется несколько дней. Два стандартных положения установочных положения в аналитической камере позволяют полностью автоматизировать измерение всех образцов (максимум три), установленных на устройстве. Кроме того, самая современная технология нейтрализации заряда также позволяет полностью автоматизировать анализ изолированных образцов.

• Проверенный высоковольтный анализатор

Проверенный высоковольтный анализатор вместе с недавно разработанной входной линзой c высокой прозрачностью обеспечивают превосходную чувствительность даже при использовании Cr Kα. Высококачественный 32-канальный многоканальный детектор позволяет получать снимки до 128 каналов в чередующемся режиме.

Обзор спектра Cr Kα и Al Kα

2.    Расширение возможностей использования благодаря двум рентгеновским лучам с различной энергией

• Информационная глубина

Ниже приведен пример информации из подложки Si, полученной через пленки ПММА различной толщины, исследованные с использованием Al Kα и Cr Kα.

Информационная глубина с использованием Cr Kα примерно в три раза больше, чем с Al Kα.

(Образец предоставлен корпорацией Fujifilm)

Спектр Si 2p из подложки Si, детектированный через ПММА

3.    Отличительные характеристики PHI Quantes

• Качественный и количественный анализ с использованием Cr Kα

Обработка данных результатов Cr Kα может быть выполнена таким же образом, как и при обычной рентгено-электронной спектроскопии с использованием программного обеспечения для анализа PHI MultiPak.

Программное обеспечение MultiPak также содержит базу данных о положениях фотоэлектронного пика (PeakID) и коэффициентах относительной чувствительности (RSF) элементов, которые совместимы с Cr Kα. С помощью базы данных RSF для Cr Kα можно выполнять количественные оценки также  и с Al Kα.

Спектры, полученные Al Kα и Cr Kα, могут обрабатываться одновременно на ПО MultiPak, что позволяет проводить простое сравнение и другую обработку данных с результатами, полученными от другого источника рентгеновского излучения.

Пример окна анализа ПО PHI MultiPak