Рентгено-электронный спектрометр ULVAC-PHI Quantera II

Описание:

Превосходные характеристики для микро-области

PHI Quantera II ‒ это устройство для рентгено-электронной спектроскопии, которое позволяет создавать микрофокусированный рентгеновский луч для растрового сканирования диаметром 7,5 мкм. В дополнение к превосходным характеристикам для микро-области, PHI Quantera II позволяет производить высокоточный автоматический анализ и профилирование по глубине.

Рентгено-электронная спектроскопия микро- и обширных областей 

ULVAC-PHI успешно повышает качество запатентованного монохроматического, микрофокусированного, сканирующего рентгеновского источника, который является основным элементом в PHI Quantera II. Улучшение качества монохроматического кристалла позволило уменьшить размер рентгеновского луча до 7,5 мкм в диаметре. Чувствительность в микро-области рентгено-электронной спектроскопии также повысилась на 20%.

PHI Quantera II также может выполнять средний, пространственный, линейный и многоточечный анализ больших областей с высокой разрешающей способностью, используя как высокоскоростную рентгено-электронную спектроскопию, так и сопоставление динамического эмиттанса.

 
Схема микрофокусированного сканирования рентгеновского изображения

Высокая чувствительность рентгено-электронной спектроскопии на малых областях 

На изобр. 1-a и 1-б показано оптическое изображение (взятое с использованием станции размещения образцов PHI Quantera II) и визуализация вторичных электронов (SXI), индуцированных рентгеновским лучом. На рис. 1-а можно четко идентифицировать синие, зеленые и красные пиксели, находящиеся на расстоянии нескольких десятков микрон друг от друга на изобр.1-б. Это значит, что PHI Quantera II уверенно может обнаруживать анализируемую точку на образце, в том числе из непроводящего материала.

Используя нейтрализатор заряда, применяемый в рентгено-электронной спектроскопии для визуализации вторичных электронов, можно точно так же обнаруживать точки. 

На изобр. 1-c показан пример исследования спектра, выполненного одновременно с профилированием по глубине с использованием рентгеновского луча диаметром 10 мкм на синем, зеленом и красном пикселях. PHI Quantera II ‒единственное устройство для рентгено-электронной спектроскопии, которое может проводить профилирование по глубине микро-областей различных образцов и предлагает это на стандартной основе. 

Изображение 1-а. Микрофотоснимок органического электролюминесцентного элемента

Изображение 1-б. Визуализация вторичных электронов

Изображение 1-c. Результат исследования спектра при профилировании по глубине

Двухлучевая нейтрализация заряда 

Рентгено-электронная спектроскопия используется в элементном анализе для широкого диапазона образцов ‒ от проводников до диэлектриков. Однако возврат нейтрализации заряда при анализе диэлектриков был трудной задачей для пользователя.

В PHI Quantera II используется запатентованная технология двухлучевой нейтрализации заряда одновременно с использованием электронного пучка с низкой энергией и ионного пучка, позволяя тем самым автоматизировать анализ диэлектриков. Использование данной технологии также упростило проведение автоматической выверки по высоте.

Химическая визуализация

PHI Quantera II оснащается высокоэффективной входной линзой и 32-канальным детектором, используемыми для достижения высокой чувствительности спектра, необходимой для качественного и количественного анализа микро-области. Это позволит одновременно получать и визуализировать несканированный спектр высокой чувствительности. Программное обеспечение для преобразования данных MultiPak обладает множеством инструментов для обработки данных, в том числе линейный подбор методом наименьших квадратов и вычерчивание кривой по точкам.

На изображении ниже показана химическая визуализация оксида (CuO) и сульфата (CuSO4) на медной поверхности. Красная, зеленая и синяя части показывают спектр Cu 2p Cu, CuO и CuSO4 после линейного построения методом наименьших квадратов. На изображении показаны извлеченные из изображения спектры.
 

Различные инструменты для перемещения образца

Визуализация вторичных электронов

SXI изображение представляет собой визуализацию вторичных электронов, возбуждаемых микро-фокусированным источником рентгеновских лучей, принятых анализатором. Использование рентгеновских лучей для анализа позволяет точно и быстро определить область анализа.

Анализируемые позиции, обнаруженные при сканировании рентгеновских изображений (визуализации вторичных электронов) индуцированных вторичных электронов

Камера с высоким разрешением

Снимки высокого разрешения встроенной камеры позволяют определить анализируемую точку. Функция цифрового масштабирования обеспечивает точное и быстрое перемещение.

Набор анализируемых позиций для высокочувствительной камеры

Опциональная установка для позиционирования образца

Установка для позиционирования образца представляет собой цифровое XY координатное устройство с оптическим микроскопом. Данная установка позволяет ориентировать анализируемую точку с помощью изображения оптического микроскопа относительно цифровых координат XY.  

Набор для позиционирования с использованием мощного оптического микроскопа