Анализатор тонких плёнок ULVAC-PHI 4700

Описание:

Анализатор тонких пленок PHI 4700 обеспечивает быстрый анализ профиля по глубине за счёт наличия энергоанализатора Оже с самой высокой чувствительностью 1,6 Mcps (текущее значение 10 нА).

PHI 4700 обладает функциями автоматического Оже-спектрометра AES и является первым устройством на рынке с функцией автоматической регулировки высоты (Auto-Z), а также функцией полного контроля как AES, так и SEM на одном компьютере с помощью простого в использовании программного обеспечения SmartSoft.

• Анализ профиля, изменённого методом электронной Оже-спектроскопии с максимальной эффективностью

Анализатор тонких пленок PHI 4700 представляет собой электронный Оже-спектрометр, позволяющий эффективно производить анализ профиля по глубине микро-областей. Он выполняет высокочувствительный и быстрый анализ профиля по глубине образцами, который может быть выполнен на уровне микрометра на образце, который указан на SEM.  
 
На изображении ниже показаны результаты анализа профиля по глубине нормальной и обесцвеченной области позолоченного электрода сотового телефона, использовавшегося в течение многих лет. Кислород и никель, образовавшиеся из-за коррозии, которая взаимодействует с никель-фосфорным сплавом, обнаружены на обоих образцах позолоченной пленки. Однако результат профилирования по глубине электрода 2 (с обесцвеченной областью) показывает, что металлический никель распространяется на позолоченную пленку, вызывая обесцвечивание.

Электрод 1 (нормальная область)

 

 

Электрод 2 (обесцвеченная область)

• Высокоэффективные измерения с помощью высокочувствительного анализатора и автоматического определения параметров

Анализатор тонких пленок PHI 4700 позволяет сократить время измерения за счёт использования высокочувствительного анализатора. А функция автоматического измерения в PHI 4700 позволяет повысить его производительность за счёт возможности измерения нескольких образцов за короткий промежуток времени.
 
Автоматическое измерение может быть с лёгкостью выполнено любым персоналом. Позицию для измерения можно установить, просто щелкнув на изображении держателя образца, отображаемом на экране программного обеспечения. Данные, необходимые для управления продуктом / процессом при полном анализе могут быть получены таким же образом.

 
 
Изображение операций автоматического измерения

•  Простое управление с помощью программного обеспечения для Windows®

SmartSoft-4700 ‒ это программное обеспечение для управления анализатором тонких пленок PHI 4700, работающее на ОС Windows®.

Группа операционных вкладок для измерений: от позиционирования измерений посредством SEM-наблюдения до измерений Оже и отображения данных, для удобства работы расположены на одном экране. Все операции, включая ввод / удаление образцов или напыление, производятся полностью без выполнения каких-либо сложных процедур, что позволяет даже начинающим операторам легко их выполнять.
 
Широкие возможности по измерению включают в себя сопоставление, гибкое профилирование по глубине и функции вращения Zalar.

Простота работы на одном экране и различные функции по измерению SmartSoft™-4700 повышают эффективность анализа и обеспечат хорошие результаты измерений.