Квадрупольный масс-спектрометр (анализатор) остаточных газов HORIBA STEC MicroPole™
- Под заказ
Отправка с 01 мая 2026Цену уточняйте
Описание
Современные полупроводниковые технологии достигли нано-уровня и тематика многих исследований и производств, так или иначе ставит задачу стабильного воспроизведения химических/физических условий процесса. Особое внимание обращается на измерение и анализ остаточного газа в рабочих камерах различных вакуумных систем. HORIBA STEC предлагает анализаторы остаточного газа (RGA) с самым маленьким в мире квадрупольным масс-спектрометром.
Самое маленькое в мире исполнение системы масс-спектрометрии :
- самая маленькая и легкая в мире;
- построена на девяти парах квадруполей;
- может работать в условиях низкого вакуума (высокого давления) 1,46 Па (11 мТорр);
- высокая скорость измерения. Скорость сканирования: 0,6 сек/масс. Разрешение: 0,5 AMU. Предел обнаружения: 1-10-8 Па;
- используются съемные и легло заменяемые сенсорные головки;
- не требует дегазации;
- возможность соединения с фланцем CF35;
- доступны различные графические режимы для анализа остаточного газа.
Принцип измерения
Анализатор MicroPole™
Характеристики, которыми обладает анализатор остаточных газов Micropole™, обеспечиваются уникальным анализатором MicroPole™ (MPA), состоящий из девяти квадруполей, которые включают в себя все преимущества технологии обработки ультра-прецизионным оптическим травлением и технологии стыков стекло/металл. Развитие MPA позволило создать самый маленький в мире анализатор остаточного газа с похожей или лучшей чувствительностью по сравнении с традиционными и большими масс-спектрометрами. Сенсорный блок анализатора уже откалиброван под парциальное давление, и позволяет получить полное абсолютное и парциальные давления остаточных газов.
Технические характеристики
|
Сенсор MPA7/SMPA7 |
|||
|
Тип сенсора |
Анализатор (Тип сенсора 7-2/65) |
Анализатор (Тип сенсора 5-2/100) |
|
|
Максимальное выходное возрастающее давление(по азоту), Па |
0,5 |
0,2 |
|
|
Максимальное рабочее давление (по азоту), Па |
0,9 |
0,6 |
|
|
Минимальное определяемое парциальное давление, Па |
5*10-6 (70эВ) |
5*10-6 (70эВ) |
|
|
Разрешение, AMU |
1,2 +/- 0,3 |
1,0 +/- 0,3 |
|
|
Максимальная температура прогрева, оС |
350 |
||
|
Максимальна рабочая температура, оС |
150 |
||
|
Тип соединения |
MPA: |
CF34 (ICF 34) |
|
|
SMPA: |
CF34 (ICF 34), ISO-KF16 (NW 16) |
||
|
Вес |
MPA: |
Фланец CF34, 50 г |
|
|
SMPA: |
Фланец ISO-KF16, 50 г |
||
|
SMPA: |
Фланец CF34, 70 г |
||
|
Нить накала |
Y2O3/Ir 2шт. |
||
|
RoHS |
Совместимый |
||
|
Генератор спектра [QL-SG01-065] [Ql-SG01-100] |
||
|
Тип генератора |
QL-SG01-065 |
Ql-SG01-100 |
|
Диапазон масс, AMU |
2-65 |
2-100 |
|
Тип фильтра масс |
Квадруполь |
|
|
Детектор |
Чаша Фарадея |
|
|
Скорость сканирования измерений |
1 с/скан для одного газа (10 с/скан для 10 газов) |
|
|
Напряжение ионизации, эВ |
43 или 70 |
|
|
Рабочая температура, оС |
15 – 45 |
|
|
Рабочая влажность, %RH |
30 – 80 (без конденсации) |
|
|
Вес (с учетом специального фланца для серии SMPA), г |
565 |
|
|
Габаритные размеры, ШхДхВ |
150х62х47 |
|
|
Коммуникации |
RS485; 9,6K/19.2K/38.4 Kbps |
|
|
Электроэнергия |
DC 24V +/-5%, 70VA |
|
|
Тип соединения |
PRC05-R6M |
|
|
Мониторинг/Управление |
Управляющая программа (QL-MC01) или программное обеспечение (QL-MS01) |
|
|
Европейский знак соответствия, CE |
Соответствие |
|
|
RoHS |
Соответствие |
|
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Horiba |
| Страна производитель | Япония |
- Цена: Цену уточняйте
