Описание
Характеристики
Информация для заказа
Серия установок Carbozen ™ -C (PECVD: нанесение покрытий путем химического осаждения из паров плазмы) применяет метод химического осаждения из газовой фазы и использует плазму для разложения ионного газа, путем генерирования тлеющего разряда.
Преимущества CARBOZEN™-C
- Позволяет формировать слой покрытия высокой чистоты
- Возможность формировать слои различных покрытий из исходного газа
- Высокая скорость осаждения и однородность для крупномасштабных областей
- Легко управляется и может применяться в массовом производстве
- Низкая температура для ионного осаждения
Область применения
DLC поверхности
Пластины световодов, CD формы и зеркальные компонентов дисплеев.
Внутреннее DLC покрытие
Детали компрессоров для холодильников и труб химического оборудования
Характеристики системы
Размер камеры | По требованию заказчика |
Рабочий газ | Система управления расходом Ar, O2 , C2H2 , CH4 ·, C6H6 · и др. |
Начальный уровень вакуума | ~10-6 Торр |
Источник напряжения смещения | 13.56 МГц |
Функционирование устройства | Автоматическое / полуавтоматическое |
Система охлаждения | Водяное охлаждение |
Основные | |
---|---|
Производитель | J&L Tech |
Страна производитель | Южная Корея |
- Цена: Цену уточняйте