Система сращивания пластин модели AML AWB-04

Описание

Система сращивания пластин модели AWB-04 предназначена для выполнения совмещенного анодного, эвтектического (высоко- и низкотемпературного) монтажа, монтажа на клей, термокомпрессии и монтажа стеклокерамики.

Высокая производительность системы обеспечивается одновременными процессами выравнивания пластины, нагрева и вакуумирования. При совмещении пластин на поверхностях их реперные отметки не делаются, все процессы совмещения выполняются с помощью оптики. Благодаря совмещению во время нагрева система обеспечивает более точные результаты постмонтажного совмещения. Нагрев и охлаждение полностью контролируются. Смена оснастки для работы с разными пластинами занимает всего 10 минут. Данное оборудование позволяет выполнять сращивание нескольких пластин (более 2), общей толщиной до 8 мм. 

Система полностью управляется с ПК, через программное обеспечение в ручном и в автоматическом режимах. Все параметры сращивания (ток, напряжение, температура, давление в камере, усилие монтажа, время, программы выполнения процессов и т.д.) задаются оператором. 

Оптическая система состоит из двух цветных камер, дающих изображения двух соединяемых поверхностей (в увеличении).  

Отличительные особенности:

• Совмещение и сращивание в одной машине и одной рабочей камере
• Позволяет выдерживать пластины с разной температурой
• Подтверждение точности совмещения перед сращиванием, наблюдение за процессом в реальном времени
• Нет касания рабочей стороны сращиваемых пластин

Области применения:

• Изготовление МЭМС устройств
• Изготовление новых типов светодиодов
• Вакуумная герметизация
• Создание 3Д сборок
• Временный монтаж пластины на носитель

Опции:

• Модуль плазменной обработки пластин
• Модуль работы с парами муравьиной кислоты
• Моторизованный привод держателя пластины

Технические характеристики

• Точность совмещения: 1 мкм
• Давление рабочего газа: от 10-6 мбар до 2 бар
• Напряжение: до 2.5 кВ
• Температура: до 560 °С
• Усилие: до 10 кН
• Размеры пластин: от 2 до 8 дюймов
• Время выполнения одного цикла (совмещение, нагрев и соединение): 20 минут