Система прямого электронно-лучевого осаждения SORONA SSLS 130
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Система прямого электронно-лучевого осаждения SORONA SSLS 130
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание
Многомишенная система прямого электронно-лучевого осаждения с 7 или 10-дюймовым катодом в одной камере.
Компания SORONA Inc. реализовала большое количество многокамерных систем нанесения покрытия осаждением паров «HYBRID». Данная двухкамерная высоковакуумная система имеет 10-дюймовые источники напыления с электростатическим держателем и обладает функцией предварительной очистки. Каждая станция оснащена вращающимся нагревателем подложки. Подложка загружается через одиночный загрузочный шлюз, а вакуумный манипулятор перемещает ее из камеры в камеру.
Особенности:
- Напыление по принципу «подложка к подложке»;
- Высоконадежный механизм транспортировки подложки;
- Управление в ручном, полуавтоматическом, автоматическом режимах;
- Возможность многослойной обработки;
- Мониторинг работы системы в режиме реального времени;
- Система защитной блокировки;
- Простота технического обслуживания;
- Исключительное качество пленки;
- Возможность реактивного ионного распыления
| Основные | |
|---|---|
| Страна производитель | Южная Корея |
- Цена: Цену уточняйте
