Система для проверки полупроводниковых пластин Sonoscan C-SAM® серии AW™

Описание:

Контроль полупроводниковых пластин без участия оператора, анализ и сортировка

Серия AW™ представляет собой современные высокопроизводительные с высокой пропускной способностью автоматизированные системы контроля полупроводниковых пластин, работающие по технологии C-SAM®, которые специально спроектированы для обеспечения максимальной чувствительности при контроле полупроводниковых пластин и компонентов.

Серия AW может обеспечить чувствительность более 5 микрон, пропускную способность примерно в два раза выше, чем у конкурирующих систем и неиммерсионное сканирование, которое исключает ложные результаты по причине проникновения деионизированной воды.

Серия AW автоматически подает, проверяет и сортирует полупроводниковые пластины на основании установленных пользователем критериев типа «годен/не годен». Система предназначена для работы с продуктами на основе подложек кристалла,  датчиками с задней подсветкой (BSI), подложками со структурой КНД (SOI), МЭМС-устройствами, светодиодами, подложками типа Chip-on-Wafer («чип на пластине»), а также неполированными пластинами, изготовленными различными способами, включая монтаж прямым плавлением, анодной пайкой, пайкой стеклокристаллическим припоем и присоединением кристалла эпоксидной смолой.

• Способы прямого монтажа - пользователи системы обнаружили, что объем выпускаемой продукции может быть значительно увеличен путем проверки трех этапов производства: после первоначального монтажа силами Ван-дер-Ваальса (сил межмолекулярного взаимодействия), после отжига и после утончения.
• МЭМС-устройства - качество герметизации полости можно проверить до разделения полупроводниковых пластин на кристаллы.
• Необработанные, неполированные полупроводниковые пластины - обнаруживается пористость структуры, которая вызывает «точечные проколы» во время дальнейшей обработки.
• Светодиоды - проверяется прочность склеивания слоев в автоматическом режиме по принципу «кристалл за кристаллом» и сортируются негодные и сомнительные кристаллы.

В системах серии AW используются преимущества запатентованных линз с высокочастотными акустическими колебаниями разработки компании Sonoscan для получения максимально детализированных изображений. Необходимы специальные линзы, поскольку материалы, используемые в определенных применениях, например, кремний, сапфир, стекло, арсенид галлия и т.д, могут быть слишком прозрачны для ультразвукового воздействия. Можно обнаружить расслаивание с разделением на полупроводниковых пластинах толщиной до 200 Å.

Системы серии AW300 обеспечивают полностью автоматизированный контроль, соответствуют требованиям SECS/GEM и могут настраиваться в соответствии с вашими требованиями.

• Преобразователь Waterfall™ производства компании Sonoscan производит неиммерсионное сканирование, что сводит к минимуму риск загрязнения и возникновение ложных сигналов неудовлетворительного монтажа.
• Система имеет двойной порт загрузки (опция) для больших партий с портами загрузки пластин 300 мм в таре FOUP или FSOB; для загрузки пластин 200 мм с кассет для стандартного механического интерфейса SMIF и для пластин 100-200 мм со стандартных кассет.
• Программное обеспечение для автоматизированного анализа разработки компании Sonoscan точно определяет процентное соотношение склеенных и/или несклеенных компонентов, размер и количество пор, герметизированные полости и минимальную толщину участка герметизации, а также обеспечивается автоматическое определение компонентов на основании установленных пользователем критериев по типам «годен/сомнителен/не годен».
• Генератор импульсов/приемник с частотой 500 МГц и преобразователи сверхвысокого разрешения спроектированы и изготовлены компанией Sonoscan для оптимальной производительности и генерирования превосходных изображений.
• Системы подходят для чистых помещений класса 1000 и класса 100.