Установка для локального ионно-лучевого тримминга (IBT) пленок по толщине sciaTrim 200
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание
Установка sciaTrim 200 предназначена для высокоточного тримминга пленки по толщине при обработке пластин. Типичными областями применения системы является тримминг по частоте и толщине при производстве акустоэлектрических устройств и фильтров, таких как устройства на объемных акустических волнах (BAW) или устройства на поверхностных акустических волнах (SAW), локальная обрезка выводов для тонкопленочных головок (TFH) и тримминг прецизионных тонкопленочных резисторов.
sciaTrim 200 представляет собой производственную систему большого объема, оснащенную серийным загрузочно-разгрузочным роботом для кассет с полупроводниковыми пластинами. Доступны кластерные конфигурации с двумя рабочими камерами и двумя загрузочными шлюзами для кассет.
Технические характеристики
|
Диаметр подложки |
100 мм, 125 мм, 150 мм, 200 мм |
|
Держатель подложки |
Гелиевый термический контакт на обратной стороне, механический зажим с минимизированным ограничением по краю |
|
Источник ионного пучка |
Источник ионного пучка RF37-i |
|
Нейтрализатор |
Нейтрализатор с термоэлектронным катодом прямого накала N-Fil или РЧ нейтрализатор типа «плазменный мост» N-RF |
|
Типичная интенсивность съема материала |
SiO2: 6,0 x 10-3 мм3/с |
|
Рабочие характеристики по осям |
Максимальная скорость 0,5 м/с, максимальное ускорение 15 м/с2 |
|
Отклонение размеров пленки после обрезки |
< 0,5 нм RMS (в зависимости от изначального качества) |
|
Давление на основание |
< 1 x 10-6мбар |
|
Размеры системы (Ш х Г х В) |
1,40 м x 2,80 м x 2,20 м (без электрической стойки и насосов) |
|
Конфигурации системы |
1 рабочая камера, 1 загрузочный шлюз; 2 рабочие камеры, 1 загрузочный шлюз; 2 рабочие камеры, 2 загрузочные шлюзы |
|
Программный интерфейс |
SECS II / GEM |
| Основные | |
|---|---|
| Страна производитель | Германия |
| Производитель | RMS |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
