Cистема для нанесения и проявления и сушки фоторезиста SVS MSX 2000 / MSX 3000
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста MSX 2000 / MSX 3000.
Данная система имеет высокую производительность и низкую стоимость эксплуатации, гибкие опциональные возможности комплектации, модульная конструкция позволяет комплектовать каждую систему под индивидуальные нужды заказчика. Система идеально подходит для работы со степпером и автоматическими установками совмещения.
Автоматическая трековая система обеспечивает работу с пластинами до 300 мм и квадратными подложками до 200х200мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6”, 6-8” и 8-12”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка. В MSX 3000 - FOUP кассета опционально.
Особенности
- Гибкая модульная конструкция
- Высокая производительность (зависит от количества установленных модулей)
- Собственная встроенная климатическая система
- Высокий показатель однородности слоя по пластине
- Высокий показатель воспроизводимости процесса от пластины к пластине
- Установка горячей или холодной плиты для сушки резиста (опция)
- Установка HMDS (опция)
- Возможность установки WEE модуля обработки края пластины
- Возможность установки EBR (Edge Bead Removal) модуля удаления валика на краю пластины
- Возможность установки BSRN (Back Side Rinse Nozzle) модуля отмывки обратной стороны
- Удобное и интуитивнопонятное программное обеспечение для работы с системой и создания готовых рецептов
- Компактная архитектура с роботом и кассетами, расположенным по центру
- Параллельная потоковая работа с подложками разных размеров позволяет оптимально использовать мощности системы
- Высокое качество нанесения на квадратные подложки без сбора фоторезиста по углам
- Возможность установки до 6 модулей нанесения/проявления фоторезиста
- Возможность установки до 18 горячих/холодных плит
- MSX 3000 - опционально FOUP кассета.
Характеристики:
|
Размер подложки |
до 12’‘ (Ø 300 мм) / до 200х200 мм |
|
Возможность единовременной работы на двух типах подложек |
2” - 4” или 4” - 6”, 6” - 8”, 8” - 12” |
|
Количество технологических модулей |
нанесение/проявление до 6 шт. горячих/холодных плит до 18 шт. |
|
Скорость вращения |
до 6000 об/мин |
|
Ускорение |
Ускорение и скорость задается оператором |
|
Модуль адгезива с нагревом |
от 50 до 200°С |
|
Горячая плита (термостол) |
от 50 до 200°С (±0,8°С) |
|
Холодная плита |
от 20 до 25°С (±0,2°С) |
|
Управление |
Программатор |
|
Загрузка пластин |
автоматическая роботизированная |
|
Однородность нанесения от пластины к пластине |
0,23% |
|
Вакуумный прижим |
да |
|
Электропитание |
220 В, 50А, 1 фаза |
|
Размеры MSX 2000 |
2530 х 1350 х 1900 мм. |
| Основные | |
|---|---|
| Страна производитель | Южная Корея |
- Цена: Цену уточняйте
