Установка для селенизации и сульфирования SDC SAS

Описание:

В технологических системах SAS используется термическая обработка (инфракрасная или резистивная) с двуселенистым этилом или сероводородом в качестве прекурсоров. Метод SAS применяется в промышленном масштабе в гелиоэнергетике для производства тонкопленочных солнечных модулей CIGS, CIS, и CIGSeS. Поверхности управляемо преобразуются в соединение селенида или сульфида.

Особенности:

• Программное обеспечение для управления системой CVDWinPrC™ для контроля процесса в реальном времени, регистрации данных и редактирования набора команд
• Кварцевая рабочая камера 5”
• Перчаточный бокс с аргоном для обращения с чувствительными к воздуху подложками
• Компьютерная система управления
• Шесть газопроводов с отдельным управлением скоростью потока
• Статический смеситель для оптимального смешивания газа
• Встроенная система управления вакуумом для работы при давлении от 1 до 740 торр и откачка чистой и сухой камеры до базового давления менее 50 мторр
• Инфракрасный нагрев с внутренней системой контроля температуры по нескольким точкам
• Рабочая температура до 700 °C при нарастании 20 °C в секунду
• Система управления безопасностью
• Обучение на рабочем месте по запуску системы и эксплуатации
• Инсталляция на месте эксплуатации и обучение
• Дополнительный газопровод с контролем весового расхода
• Обнаружение утечки газа
• Устройство подачи пара низкого давления жидкого прекурсора двуселенистого этила
• Твердый источник примеси для селенизации в закрытом боксе и независимым источником нагрева селена
• Система обработки отработавших газов с устройством рециркуляции гидроксида натрия (NaOH) с pH мониторингом

Под управлением CVDWinPrC™

Системы, работающие под управлением программного обеспечения CVDWinPrC™, автоматически регистрируют данные и графически отображают зависящие от времени значения, согласно выбранным пользователем параметрам. CVDWinPrC™ также предоставляет пользователям возможность загружать предварительно запрограммированные наборы команд, изменять, проверять и создавать новые наборы, и просматривать текущие или сохраненные данные технологического процесса.

Протоколы безопасности

Системы оснащены протоколами безопасности, сконфигурированными в соответствии с приложением, которые встроены в релейно-контактную логическую схему, программируемый логический контроллер и программное обеспечение CVDWinPrC™.