Установка для химического осаждения из газовой фазы при атмосферном давлении SDC APCVD

Описание:

Химическое осаждение из газовой фазы при атмосферном давлении - процесс напыления тонких пленок, происходящий обычно с высокой скоростью осаждения. CVD Equipment Corporation предлагает решение для наращивания масштабов процессов APCVD от уровня исследований до производства. Компания продемонстрировала свою компетентность в сфере солнечной энергетики с помощью систем APCVD CVDgCoat™, позволяющих достичь больших объемов и низкой стоимости производства солнечных модулей.

Системы APCVD используются для нанесения слоя материала в несколько микрон на кремниевые пластины или другие виды подложек. Они используются для наращивания эпитаксиальных пленок кремния, полупроводниковых соединений, SiO2, антиотражающих покрытий и прозрачных проводящих оксидных покрытий.

Системы APCVD также используются для отделки поверхностей инструментов и лопастей турбин с целью увеличения их срока службы и эксплуатационных качеств.

Особенности:

• Программное обеспечение для управления системой CVDWinPrC™ для контроля процесса в реальном времени, регистрации данных и редактирования набора команд
• Обработка пластин диаметром до 300 мм или листов стекла длиной до нескольких метров
• Рабочая температура от 100 °C до 1300 °C
• Обработка в закрытом контуре для обеспечения высокой чистоты и воспроизводимости окружающей среды позволяет увеличить выход продукции
• Подвижный элемент печи для быстрого нагрева и охлаждения и для обеспечения надлежащей атмосферы до обработки
• Консольная система загрузки для автоматической бесконтактной подачи пластин для минимальной генерации частиц
• Каскадный контроль температуры с помощью внешней (печь) и внутренней (процесс) термопары для непрерывного контроля профилей и распределения температуры на месте в режиме реального времени
• Менее чем 0.5°C в плоскости температурной зоны длиной до 48"
• Система этажерочного типа из 4 модулей с правосторонней или левосторонней загрузочной станцией
• Независимый компьютерный контроль для каждого контура обработки

Под управлением CVDWinPrC™

Системы, работающие под управлением программного обеспечения CVDWinPrC™, автоматически регистрируют данные и графически отображают зависящие от времени значения, согласно выбранным пользователем параметрам. CVDWinPrC™ также предоставляет пользователям возможность загружать предварительно запрограммированные наборы команд, изменять, проверять и создавать новые наборы, и просматривать текущие или сохраненные данные технологического процесса.

Протоколы безопасности

Системы оснащены протоколами безопасности, сконфигурированными в соответствии с приложением, которые встроены в релейно-контактную логическую схему, программируемый логический контроллер и программное обеспечение CVDWinPrC™.