Системы сухой плазменной очистки и сжигания NANO-MASTER NPC-3000
- Под заказ
Отправка с 25 ноября 2025Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Системы сухой плазменной очистки и сжигания NANO-MASTER NPC-3000
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
Системы плазменной очистки и сжигания NANO-MASTER разработаны для решения широкого спектра задач от удаления резиста с пластины до изменения свойств поверхности при пакетной и индивидуальной загрузке. Системы работают под управлением ПК и могут оснащаться различными источниками плазмы, подогреваемыми и неподогреваемыми подложкодержателями, и отличаются уникальной способностью переключения с плазменного травления на режимы реактивного ионного травления.
Характеристики и опции
- Камеры из нержавеющей стали, алюминия, а также камеры колокольчатого типа;
- Совместимость с чистыми комнатами класса 100;
- Газораспределительная головка душевого типа, источник с индуктивно-связанной плазмой для получения плазмы высокой плотности, либо микроволновый плазменный источник;
- Вращающийся подложкодержатель;
- Турбомолекулярный насос с производительностью 250 л/сек;
- Базовое давление 5x10-7 торр
- Охлаждаемый либо подогреваемый до 300°C подложкодержатель с РЧ смещением и ПИД-регулированием;
- Полностью автоматическая либо ручная РЧ настройка;
- До 4 контроллеров массового расхода с электрополированными газовыми линиями;
- Пневматические клапаны с компьютерным управлением;
- Полная автоматизация процесса под управлением ПК в соответствии с заданной программой;
- Интерфейс пользователя, разработанный в среде LabVIEW;
- Средства аварийного отключения и защитные блокировки.
Область применения:
- Удаление слоев для анализа причин отказа;
- Удаление органических и неорганических материалов без остатков;
- Удаление или сжигание фоторезиста;
- Обезжиривание и протравливание;
- Очистка микроэлектроники, просверленных отверстий на печатных платах или медных рамочных выводов;
- Подготовка пластмассы перед металлизацией, устранение проблем сварки;
- Изменение свойств пластиковой поверхности: обработка кислородом для окраски;
- Изготовление гидрофильных или гидрофобных поверхностей.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | NANO-MASTER |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
