Системы влажной очистки промежуточных фотошаблонов NANO-MASTER NANO-MASTER LSC-5000

Описание:

LSC-5000 представляет собой новейшую систему очистки промежуточных фотошаблонов, построенную на базе самых современных технологий и обладающую расширенной функциональностью. Благодаря функции автоматической загрузки/разгрузки промежуточных фотошаблонов, процесс очистки с применением LSC-5000 полностью автоматизирован, что гарантирует точную, равномерную и повторяемую очистку. 

LSC-5000 позволяет очищать как оборотную сторону, так и выравнивающие метки на лицевой стороне фотошаблонов с пеликлами, снижая потребность в ненужном удалении и повторном размещении пеликлов на данных фотошаблонах. Мегазвуковая очистка и центробежная сушка всей лицевой поверхности фотошаблона с пеликлами выполняется без повреждений и просачивания конденсата на пеликле. Система также способна удалять клеевой состав, фиксирующий рамку пеликла и может применяться для подготовки поверхности для повторного размещения пеликла.

Функциональные возможности

Два сдвоенных распылительных кронштейна:

• Линейный кронштейн обеспечивает равномерную очистку меток выравнивания на лицевой стороне предварительных фотошаблонов с пеликлами;
• Радиальный кронштейн обеспечивает мегазвуковую очистку деионизированной водой с однородным подводом энергии для очистки оборотной стороны.

Очистка предварительных фотошаблонов с пеликлами:

• Предварительный фотошаблон фиксируется на держателе лицевой стороной вниз, при этом оборотная сторона очищается радиальным кронштейном. После чего предварительный фотошаблон высушивается, захватывается и переворачивается. На лицевую сторону устанавливается кольцо для защиты пеликла после чего выравнивающие метки подвергаются мегазвуковой очистке с применением деионизированной воды, щетки и химического распыления с использованием линейного кронштейна. Зажимное устройство поворачивается на 180° после чего производится очистка другой стороны. Промежуточный фотошаблон высушивается, а защитное кольцо удаляется. Загрузка промежуточного фотошаблона в кассету для стандартного механического интерфейса производится автоматически.

Характеристики:

• Роботизированная загрузка/разгрузка с применением модуля внешнего интерфейса оборудования и стандартного механического интерфейса;
• Большая камера с контролируемой окружающей средой;
• Мегазвуковая очистка без повреждения образца;
• Независимое распыление химических веществ;
• Щетка с переменной скоростью вращения и распылением химических веществ;
• Компьютерное управление с программным обеспечением, разработанным в среде LabVIEW;
• Интерфейс пользователя с сенсорным экраном;
• Регистрация данных;
• Разделенный дренаж для растворителей и кислот;
• Защитные блокировки и аварийные сигналы.

Опции

• Наливной модуль подачи химикатов; 
• Ионизатор азота и ввод CO2;
• Очистка в режиме «Пиранья»;
• Озонированная деионизированная вода (концентрация O3: 20ppm);
• Подача деионизированной воды под высоким давлением;
• Подогрев деионизированной воды.

Область применения

• Заготовки фотошаблонов со слоем фоторезиста;
• Промежуточные фотошаблоны с пеликлами;
• Промежуточные фотошаблоны без пеликлов;
• Контактные фотошаблоны.