Система совмещения и экспонирования пластин и подложек EVG 620NT / EVG 6200NT
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание
Системы серии EVG 620NT и 6200NT - современные системы совмещения и экспонирования. Предназначены для работы с пластинами и подложками размерами от 5 мм до 150 мм и от 75 мм до 200 мм
Системы предлагают передовые конструкторские решения:
-
Модульная конструкция позволяет легко изменять функционал системы и расширять возможности от лабораторной системы, до системы для серийного производства, от ручной до полностью автоматической системы
-
Совмещение по двум сторонам пластины, возможно совмещение с применением инфракрасного излучения
-
Оптика высокого разрешения
-
Механизмы компенсации разнотолщинности пластин (клиновидности)
-
Защита от вибраций
-
Линейные приводы
-
Гранитное основание
Особенности системы:
- Толщины пластин и подложек 0,1 -10 мм Размеры масок 7x7 дюймов для EVG620NT и 9x9 дюймов для EVG6200NT
-
Точность совмещения: по верхней стороне ±0,5 при За, по нижней стороне ±1,0 при За
-
Разрешение системы <0,8 мкм при вакуумном контакте
-
Совмещение пластин для последующей сварки (опция)
-
Автоматическая система компенсации клиновидности пластины
-
Платформа для решений в области УФ-наноимпринтной фотолитографии
-
Экспонирование при мягком, жестком и вакуумном контакте, а так же экспонирование с микрозазором
-
Длины волн экспонирования: i-, д-, h-линия, DUV
-
Ручной и автоматический режимы эксплуатации
-
Встроенная система документирования техпроцесса и ошибок, различные уровни доступа.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | EVG |
| Страна производитель | Австрия |
- Цена: Цену уточняйте
