Система нанесения, проявления и сушки фоторезиста SVS MSX 1000
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Система нанесения, проявления и сушки фоторезиста SVS MSX 1000
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание
Ключевые особенности и опции:
- Система управления температурой и влажностью в камерах
- Управление температурой подаваемого резиста
- Высокий показатель однородности слоя по пластине
- Высокий показатель воспроизводимости процесса от пластины к пластине
- Горячие и холодные плиты для термической обработки
- Модуль для обработки в парах ГМДС
- Модуль для экспонирования края пластины
- Система удаления валика на краю пластины
- Система отмывки обратной стороны
- Удобное ПО для работы с системой Компактная конструкция с роботом и кассетами
- Параллельная работа с подложками разных размеров
- Нанесение резиста на квадратные подложки
- Возможность работы с двумя типоразмерами пластин одновременно
Возможность установки:
-
до 4 модулей нанесения/проявления фоторезиста
-
до 8 горячих/холодных плит
Технические характеристики
Размер пластин и подложек:
- до 0200 мм
- до 150 мм х 150 мм
Количество технологических модулей:
- Нанесение/проявление - до 4 шт.
- Горячих/холодных плит - до 8 шт.
Количство линий подачи резиста:
- До 3 линий на модуль
Количество линий подачи проявителя:
- до 2 линий на модуль
Скорость вращения:
- до 6000 об/мин
Модуль обработки в парах ГМДС:
- от 50°С до 200°С (±0,8°С)
Горячая плита:
- от 50°С до 200°С (±0,8°С)
Холодная плита:
- от 20°С до 25°С (±0,2°С)
Загрузка пластин:
- автоматическая роботизированная
Габариты системы:
- 1550x1270x1800 мм
| Основные | |
|---|---|
| Страна производитель | Южная Корея |
- Цена: Цену уточняйте
