Лазерная установка для резки и разделения пластин на кристаллы ASMPacific IR Dicing
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание
Компания ASMPT является изобретателем многолучевых систем для резки полупроводниковых пластин. Многолучевые лазерные системы применяются на крупномасштабных производствах более 20 лет и показали себя с наилучшей стороны при обработке многих миллиардов деталей. Малая мощность отдельного лазерного луча в сочетании с большим количеством лучей в пучке обеспечивают высокую скорость удаления материала с поверхности детали и малую область нагрева (<3 мкм), что позволяет достичь высокой эффективности процесса.
Процесс обработки с применением многолучевого инфракрасного лазера отлично зарекомендовал себе при разделении полупроводниковых пластин на кристаллы. Такой подход в области обработки пластин полностью соответствует требованиям тенденции сокращения толщины устройств, повышения плотности кристаллов на пластине и, как следствие, необходимости уменьшения толщины линии резки.
Особенности
- Типичная толщина резки: от 10 мкм до 250 мкм;
- Высокая точность позиционирования и воспроизводимость (<± 1.5);
- Малая ширина резки (< 17 мкм для толщины 100 мкм);
- Малая зона теплового воздействия (< 2 мкм для толщины 100 мкм);
- Высокая производительность (как правило, на 50 % выше, по сравнению с аналогичными системами других производителей) благодаря применению лазерных технологий:
- сверхнизкое время индексирования;
- две кассетные станции;
- сдвоенные станции нанесения покрытия и очистки.
- Функция управления Secs Gem, а также функция управления дистанционной поддержкой;
- Станция предварительного выравнивания для достижения максимальной производительности;
- Программные функции обработки сломанных пластин и полупроводниковых пластин с кристаллами интегральных схем различных типов;
- Интуитивно понятный графический интерфейс пользователя.
Области применения
- ВЧ интегральные схемы;
- Сверхъяркие светодиоды;
- Дискретные компоненты, транзисторы и диоды;
- Элементы питания.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | ASM Pacific Technology |
| Страна производитель | Нидерланды |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
