Установка для газофазного (CVD) осаждения PlanarGROW-6E
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
planarGROW-6Е – простая в управлении установка «под ключ» для проведения исследований, сконструированная в соответствии с современными стандартами безопасности. Система позволяет работать с различными газами, проводить процессы при атмосферном давлении и в вакууме.
Данная установка имеет реактор большого диаметра и может работать с подложками шириной 150 мм и длиной до 1,5 метра.
Система planarGROW-2S™ компании planarTECH является передовым инструментом использующим процесс термического химического осаждения паров с использованием металлических катализаторов для синтеза широкого круга наноструктурированных материалов.
Область применения:
Установка модели planarGROW-6Е используется для выпуска малых партий 2D- материалов: углеродных нанотрубок, графена, MoS2.
Стандартная спецификация:
- Компьютерное программное обеспечение, позволяющее контролировать процессы, хранить данные, работать с интерфейсом безопасности и генератором рецептов для компьютеров на базе MS Windows.
- Перепрограммирование стандартных рецептов роста для одностенных и многостенных нанотрубок, графена и др.
- 3-зонная (опция) резистивная печь для температур до 1100 °С.
- Турбомолекулярная система откачки.
- Ручная загрузка образцов.
- Кварцевая реакционная камера, система напуска газа, термопары.
- Двойное вакуумное уплотнение по консолям реактора.
- Газовые линии с расходомерами – до 6 шт.
- Гарантия 12 месяцев.
- Интуитивно понятное ПО и система защиты.
Технические характеристики:
|
Рабочая камера |
Кварц, размеры (Диам х Дл): 150 х 1500 мм |
|
Печь |
3-зонная, Кантал, Макс. 1100 °С (150 х 1000мм) |
|
Вакуумный насос |
600 л/мин, пластинчато-роторный турбомолекулярный насос |
|
Рабочие газы |
Аргон-1000 мл/мин, H2-100 мл/мин, CH4-200 мл/мин |
|
Управление |
Полный автомат с управлением через сенсорный экран PLC |
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
