Установка для осаждения тонких пленок методом магнетронного распыления TFSP-840
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Установка для осаждения тонких пленок методом магнетронного распыления TFSP-840
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Область применения:
TFSP-840 – установка для осаждения тонких пленок методом магнетронного распыления. Применение: обучение, исследования и разработки, производство мелких и средних партий продукции.
Техническая спецификация:
|
Вакуумная камера |
Прямоугольного типа из нержавеющей стали с полно-открываемой передней дверью и портом наблюдения на двери диаметром 100 мм |
|
Система откачки |
Турбомолекулярный или криогенный вакуумный насос, сухой спиральный или пластинчато-роторный форвакуумные насосы |
|
Подложко-держатель |
Вращаемый для подложек до 150 мм в диаметре |
|
Источники |
Один или несколько магнетронов |
|
Режим работы |
ВЧ, ПТ или импульсный ПТ |
|
Газовые линии |
1-4 канала с РРГ и запорными клапанами (конструкция клапанов с сильфонным уплотнением) |
Опциональная спецификация:
- Сеточный/бессеточный ионный источник.
- Рабочая камера D-формы, камера типа колпак, камера для встройки в лицевую панель чистой комнаты и др.
- Изолированный подложкодержатель для возможности травления или очистки.
- Контроллер скорости и толщины осаждения с кварцевыми датчиками.
- Датчик измерения резистивности пленок и контроллер.
- Загрузочная камера для подачи подложек диаметром 75 мм.
- Нагрев кварцевыми лампами.
- Перестраиваемый по высоте привод подложкодержателя.
- Шаговое позиционирование подложкодержателя.
Особенности:
- Качество и надежность при доступной цене.
- Компактная конструкция, небольшая занимаемая площадь.
- Очень «гибкая» комплектация установок под требования заказчика.
- Большое количество опций, в т. ч. загрузочные камеры разных модификаций, ручная или автоматическая загрузка.
- Большой выбор опций катодов распыления, включая широкий ряд источников питания.
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Производитель | VST |
| Страна производитель | Израиль |
- Цена: Цену уточняйте
