Установка с двумя параллельными вакуумными камерами для осаждения тонких пленок TFDS-663
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Область применения:
Установка с двумя параллельными вакуумными камерами и единой системой откачки. Предназначена для производственных применений, где требуется высокая производительность и небольшой бюджет.
Техническая спецификация:
|
Базовое давление: |
2Х10-7 Торр |
|
Среднее время откачки: |
90 минут (откачка сухого N2) |
|
Насосы: |
Крионасос, механический масляный пластинчато-роторный насос |
|
Ловушка: |
Окись алюминия |
|
Камера: |
Охлаждаемая водой, внутренний диаметр 18”, высота 20”, нержавеющая сталь |
|
Смотровые окна: |
Два смотровых окна, внутренний диаметр 4”, с заслонками |
|
Нижняя пластина: |
Внешний диаметр 22”, толщина 1”, нержавеющая сталь |
|
Верхняя пластина: |
Внешний диаметр 22”, толщина 1”, нержавеющая сталь |
|
Клапаны: |
Электро-пневматические, нержавеющая сталь |
|
Мишени электронно-лучевой пушки: |
4Х7 куб. см |
|
Электропитание электронно-лучевой пушки: |
6 кВт |
|
Тлеющий разряд: |
Переменный ток, самоограниченный блок питания |
|
Нагреватель: |
Кварцевые лампы 1,4 кВт |
|
Датчики: |
Ионный датчик; термопарный датчик; Пирани |
|
Контроль толщины: |
Maxtek 100 |
|
Управление: |
Встроенный ПЛК |
|
Стойка: |
Алюминиевые профили |
|
Подъемники (нижняя и верхняя пластины): |
Электрические подъемники с приводом от ходового винта, с вакуумной блокировкой, с верхними и нижними концевыми выключателями |
Особенности:
- Лучшее сочетание цены и возможностей для промышленной установки с малыми габаритами
- Две параллельные технологические камеры с одной откачивающей системой
- Программа изоляции вакуумной установки
- Установка полностью автоматизирована с помощью ПЛК
- Верхние и нижние пластины могут быть подняты и повернуты для облегчения загрузки
- Источник электронно-лучевого испарения, подходящий для TiO2, Ni, Cr, Co, SiO2, HfO2, MgF2, Au, Pt, Ta, Al2O3
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Производитель | VST |
| Страна производитель | Израиль |
- Цена: Цену уточняйте
