Установка для осаждения тонких пленок TFDS-462
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Область применения:
TFDS-462B – установка для осаждения практически любых тонких пленок методами термического испарения, с возможностью дооснащения различными опциями и непревзойденным соотношением цена/возможности. В качестве источников в камере можно использовать магнетроны, термические источники, электронно-лучевую пушку, ионный источник. Применение: обучение, исследования и разработки, мелкосерийное производство.
Техническая спецификация:
|
Рабочая камера |
Рабочая камера из нержавеющей стали, водоохлаждаемая, с фронтальной дверью на петлях, со смотровыми окнами. Возможные типы: прямоугольная, D-формы, камера типа колпак, камера для встройки в лицевую панель чистой комнаты и др. Дополнительные порты для будущего оснащения камеры. Легкосъемные экраны от запыления на стенках и двери. |
|
Электронно-лучевое испарение |
Электронно-лучевая пушка. Имеет специальную конструкцию для предотвращения взаимного загрязнения материалами из разных тигелей между собой. Автоматическая индексация тигелей/карманов. Заслонка с пневмоприводом. |
|
Термическое испарение |
До 4-х термических источников. |
|
Подложки |
Номинальный диаметр – до 152 мм. Возможность вращения и вертикального перемещения. Устройство нагрева подложек до температуры 1500 С. Любой тип крепления. Измерение толщины пленок в процессе. |
Особенности:
- Высокое качество и надежность
- Очень «гибкая» комплектация установок под требования заказчика.
- Ионный источник для очистки поверхности подложек перед напылением (опция).
- Система откачки: стандартно - криогенный и безмасляный спиральный насосы. Возможны варианты.
- Небольшая камера позволяет быстро откачивать установку, выходить на рабочий режим и осуществлять несколько циклов загрузки/выгрузки в течение дня.
- Для более быстрой смены подложек и материалов и при высоких требованиях к чистоте процесса установку можно дооснастить двумя загрузочными камерами.
- Опции: перемещение пластин в/из шлюза, охлаждение, наклон и др.
Модификации серии TFDS-462:
TFDS-462T с камерой колпакового типа из стали или "пирекса"
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Производитель | VST |
| Страна производитель | Израиль |
- Цена: Цену уточняйте
