Вакуумная установка нанесения тонких пленок Moorfield Minilab 060
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Область применения:
Установка MiniLab 060 применяется для исследований и разработок, для образовательных и коммерческих учреждений. С ее помощью можно реализовывать все процессы вакуумного напыления с любых источников в ручном или полуавтоматическом режимах. Это самая малогабаритная установка из предлагаемых компанией Moorfield для производства опытных партий. Применение: обучение, исследования и разработки, осаждение тонких пленок.
Техническая спецификация:
|
Рабочая камера |
Нержавеющая сталь, с фронтальной загрузкой, кубической формы, 400х400х400 мм (внешние размеры), 3 фланца CF40 для вращения подложек, контроля температуры, нагрева и др., смотровое окно CF63 |
|
Источники |
До 4-х резистивных источника с водяным охлаждением, либо сильноточный резистивный источник с замкнутым контуром (конкурирующий с электронно-лучевым источником до 2000°С). До 4-х LTE источников для распыления органических материалов. Электронно-лучевое испарение: 4х7 куб.см или 6х4 куб.см многокарманная пушка с автоматическим выбором кармана для многослойного последовательного осаждения. Распыление: до четырех 3” или 2” магнетронов с опцией автоматического соосаждения. Узел для реактивного ионного травления. |
|
Подложки |
Нагрев, охлаждение, наклон и перемещение пластин по вертикали (опции) |
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Страна производитель | Великобритания |
- Цена: Цену уточняйте
