Вакуумная электронно-лучевая установка нанесения тонких пленок Criterion
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Вакуумная электронно-лучевая установка нанесения тонких пленок Criterion
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Область применения:
Установка модели Criterion имеет относительно небольшие габариты для системы, оснащенной загрузочным шлюзом и с изолированным источником (опции). Установка имеет уникальную конструкцию рамы и рабочей камеры, позволяющую размещать различные источники и их комбинации и дополнительное оборудование.
Применение: обучение, исследования и разработки, мелкосерийное производство.
Техническая спецификация:
- Вакуумная камера
- Из нержавеющей стали, с водяным охлаждением
- Размер: 584 х 508 х 660 мм (Г х Ш х В)
- Объем камеры: 190 л
- Расстояние до источника: 457 мм
- Подложкодержатели
- Планетарного типа (образцы: 3 x 150мм / 5 x 125мм/ 7 x 100мм/ 10 x 75мм)
- Lift-off (образцы: 9 x 100мм / 12 x 75мм)
- C изменяемым углом (образцы 3 х 150 мм / 5 х 125 мм / 7 х 100 мм / 9 х 75 мм)
- Насосы
- Диффузионный вакуумный насос (1550 л/с)
- Турбомолекулярный вакуумный насос (1450 л/с )
- Криогенный насос (1500 л/с)
- Система управления
- Ручное
- PLC - Сенсорный экран от Siemens
- Источники
- Электронная пушка: 4 x 25см3/4 x 40см3/ 6 x 15см3/ 6 x 25см3
- Резистивный источник
- Термический источник с поворотом
- Ассистирование ионным пучком
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Страна производитель | США |
| Производитель | Siemens |
- Цена: Цену уточняйте
