Вакуумная электронно-лучевая установка нанесения тонких пленок MARK 50/40

Область применения:

Установки серии MARK являются «де-факто» стандартом в полупроводниковой промышленности. Они обеспечивают однородность нанесения пленки +/-3% и лучше и воспроизводимость от подложки к подложке +/- 3% и лучше. Системы выпускаются в различных модификациях: от полностью автоматизированного компьютерного управления до ручного. Они экономичны в использовании, обеспечивают быструю загрузку/выгрузку, обеспечивают широчайшие возможности для разных процессов и могут работать с практически любыми размерами, формами подложек из разных маетриалов. Эффективность дизайна серии установок MARK, легкость работы с ними и непревзойденная надежность делают их прекрасным выбором как для массового производства, так и для научных разработок и исследований.

Техническая спецификация:

• Возможность совмещения термического испарения и магнетронного распыления
• Устройство перемещения подложек 
• Однородность покрытий:  +/-3% и лучше, воспроизводимость: +/-3% и лучше
• Осаждение пленок снизу-вверх
• Оборудование для процессов:

• Источники питания для испарителей:
  • Электронная пушка: 6-10-15 кВт
  • Распыление: 1-3-5-15-30 кВт
  • Нагреватель: 6-10-16 кВт
  • Термическое осаждение:  1-5-10 кВт

• Рабочая камера (возможное оснащение):

• Подложкодержатели:

• Элементы системы откачки:

• Выбор насосов:
  • диффузионный
  • турбомолекулярный
  • криогенный насосы
• Предельный вакуум:
  • Система 10-9 Торр
  • Камера 10-8 Торр
  • Получение 10-7 Торр за менее чем 25 мин
• Дополнительный крионасос:
  • Крионасос производительностью 50000 л/с для быстрой откачки паров воды. 

Особенности:

• Отличный дизайн: цилиндрическая вакуумная камера горизонтального типа с двумя торцевыми дверьми.
• Установка серии MARK может выпускаться в двух спецификациях, включая термическое испарение и магнетронное распыление или в комбинированном исполнении: например, осаждение барьерного слоя из TiW магнетроном и поверхностную пленку из Алюминия посредством электронно-лучевой пушки.
• Высокая скорость загрузки и разгрузки.
• Эксплуатационная гибкость.
• Современная система управления, дополнительная система PLC/PC.
• Удобство в эксплуатации: система оснащена уникальной, запатентованной скользящей дверцей на передней стенке камеры, которая уменьшает необходимое для работы пространство и обеспечивает легкий доступ.
• Поддержка подложек из множества различных материалов и разных размеров.
• Изолирование источника в загрузочной камере, что позволяет обособленно откачивать рабочую камеру до высокого вакуума, прежде чем подвергать ее воздействию со стороны камеры источника, а также проводить предварительные процессы в рабочей камере обособленно от источников.
• Эффективность дизайна, легкость в управлении и несравнимая надежность делают эту систему прекрасным выбором для широкого ряда производственных применений.
• Каждая установка комплектуется индивидуально, чтобы отвечать всем необходимым требованиям заказчика.
• Компоненты системы выбираются таким образом, чтобы оптимизировать стоимость ее производства, производительность и качество.