Установка для ионной имплантации Applied Materials VIISTA® PLAD
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Установка для ионной имплантации Applied Materials VIISTA® PLAD
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Плазменная технология имплантации установки Varian VIISta PLAD ™ сверхвысокого дозирования обеспечивает проверенный временем метод быстрой имплантации высоких концентраций легирующего материала по всей поверхности пластины, используя низкоэнергетический процесс, который не будет нарушать чувствительные схемы.
Установка позволяет выполнять высококлассное дозирование с высокой однородностью и с важными особенностями, обеспечивающими следующие преимущества:
- Плазма высокой плотности с низкой энергией позволяет обходиться без травления или повреждения подложки
- Продвинутая радиочастотная технология обеспечивает уникальный контроль процесса осаждения
- Импульсное смещение постоянного тока обеспечивает точное управление энергией, глубиной и дозой для большого количества различных процессов
- Переменный коэффициент заполнения повышает гибкость процесса
- Минимальное количество брака при массовом производстве с контролем дозы на месте
Установка VIISta PLAD ™ базируется на платформе VIISta, общей для других систем Varian. Такая унификация помогает сократить время подготовки производства и повысить производительность при любом техпроцессе.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Applied Materials |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
