Система для контроля пластин Applied Materials UVISION® 7 INSPECTION
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Система UVision® 7 ‒ это новейший представитель линейки UVision для контроля пластин, оснащенный базовой технологией лазерного освещения дальнего ультрафиолетового излучения (DUV), с уникальной для этой линейки продуктов двухканальной приёмной оптикой (тёмные пятна дефектов на светлом поле и яркие пятна дефектов на тёмном поле).
Система обладает наименьшей оптической чувствительностью (30 нм), что позволяет применять её в новейших исследованиях и разработках с чувствительностью к дефектам менее 10нм. Она также повышает контроль дефектов на расширенных слоях шаблонов в FEOL и BEOL для 1-нм узлов и технологий, включающих логические устройства на плавниковых транзисторах, DRAM, 4x 3D устройства И-НЕ, двойное и четырехкратное формирование рельефа и EUV слои.
Система UVision 7 спроектирована с на 30% большим потреблением света по сравнению с инструментами предыдущего поколения, тем самым еще больше увеличивая рабочие пределы мощности лазера и значительно повышая чувствительность. Платформа также имеет улучшенную систему сбора данных, которая также повышает чувствительность как к логическим схемам с высокой плотностью упаковки, так и к краю структуры, с уменьшенной частотой ложных срабатываний в этих областях на 50%. Кроме того, система позволяет снизить производственные затраты с увеличенной производительностью более чем на 40%.
UVision 7 включает в себя Marker ™ ‒ новое интегрированное приложение на базе САПР, которое предназначено для сбора полезной информации и параметров пластины для настройки порогов обнаружения локальной геометрии и шума. Это повышает чувствительность, улучшает сортировку и повышает точность координат. Приложение Marker является ключевым компонентом новой системы при разработке процессов и производственной деятельности.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Applied Materials |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
