Установка для электрохимического осаждения Applied Materials RAIDER® GT
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
В установке Raider GT по сравнению с предыдущими установками можно увеличить производительность до 100%. Дополнительная экономия средств достигается за счет использования ионных мембран для продления срока службы. Применение медного анодного материала также позволяет сократить затраты и сократить время простоя из-за отсутствия материалов.
Поскольку размеры элементов продолжают уменьшаться до менее 10 нм, а коэффициент пропорциональности увеличиваться (> 5: 1), перед производителями ставится задача достижение баланса между заполнением и подавления боковины, чтобы обеспечить бездефектное заполнение. Кроме того, более тонкие слои с повышенной резистивностью и более высокой плотностью упаковки затрудняют получение однородного осаждения пластины для достижения высоких выходных характеристик устройства. Верхние металлические уровни требуют альтернативных методов металлизации, например, использования кобальта, а не меди.
Установка Raider GT используя медное заполнение соединений логических и запоминающих элементов, динамическую технологию управления током, микросекундное управление параметрами способна применять самый широкий диапазон технологий химического процесса (от низкой до высокой удельной проводимости). Эти функции являются ключом к оптимальной возможности заполнения и равномерности осаждения на пластине. Способность системы динамически и быстро настраивать и контролировать плотность тока, когда пластина входит в раствор и во время осаждения, является ключевой технологией Raider GT.
Возможность расширения системы GT позволяет выполнять заполнение менее материал 20нм с высокой производительностью и низкими затратами. Уникальная гибкость конструкции Raider GT позволяет запускать системой второй химический процесс. Оба процесса могут запускаться одновременно, а изменение настроек конфигурации для запуска снова одного процесса происходит быстро, с минимальным временем простоя.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Applied Materials |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
