Установка для травления Applied Materials PRODUCER®ETCH
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Установка Applied Producer Etch с запатентованной конструкцией TwinChamber® является надежным и экономичным инструментом травления для 90-нм и ниже. Проверенная в производственных условиях, очень компактная установка может быть сконфигурирована с тремя камерами TwinChambers для максимальной производительности.
Установка достигает максимальной производительности благодаря использованию камер TwinChambers, двойной унифицированной тары (FOUP) для хранения и перемещения полупроводниковых пластин и цеховой аппаратуры сопряжения с двумя роботами. Producer Etch также обеспечивает однокамерный режим работы и управление процессом. Каждая камера Twin может работать в режиме с одной или двумя пластинами. Скорость, равномерность травления и селективность могут быть настроены путем регулировки зазора между электродами, что позволяет оптимизировать процесс для различных условий применения.
Эффективное обжатие плазмы, очистка прямо на месте и сверхчистые плазмостойкие материалы камеры обеспечивают качество работы с показателем среднего времени между «мокрыми» очистками 500 ВЧ часов и более в условиях массового производства. Безотказность, высокая производительность и низкая стоимость владения делают ProducerEtch идеальной установкой для крупносерийного производства.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Applied Materials |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
