Установка для плазмохимического газофазного осаждения Applied Materials PRODUCER® BLACK DIAMOND® PECVD

Установка плазмохимического газофазного осаждения Applied Producer Black Diamond 3 расширяет лидерство компании Applied в технологии создания нанопористых, с низкой диэлектрической проницаемостью слоёв диэлектрика, позволяющие выполнять пропорциональную миниатюризацию самых современных межсоединений до 28-нм и ниже.

Установка Black Diamond II для создания нанопористых, с низкой диэлектрической проницаемостью плёнок является отраслевым стандартом для 45/32-нм медных / с низкой диэлектрической проницаемостью межсоединений со значением k около 2,5. Его предшественник Black Diamond (k ~ 3.0) является отраслевым стандартом для компонентов 90/65-нм. Создание нанопористой пленки с низкой диэлектрической проницаемостью является двухступенчатым процессом, состоящим из плазмохимического газофазного осаждения (PECVD)  «магистрали» из органосиликатной аморфной формы диоксида кремния и термически малоустойчивой органической фазы с последующим ультрафиолетовым (УФ) отверждением, которое вытравливает малоустойчивую фазу, тем самым индуцирует поры и реструктурирует и укрепляет оставшуюся кремний-оксидную матрицу с образованием конечной нанопористой пленки. Небольшой средний размер и плотное распределение размеров пор устраняют необходимость в их заполнении.

Установка следующего поколения Black Diamond 3 расширяет эту передовую технологию на плёнки с ультранизкой диэлектрической проницаемостью (ULK, k ~ 2,2) для пропорциональной миниатюризации до 22 нм и ниже и улучшения скоростных качеств устройства. Она также придает механическую устойчивость (твердость и эластичность), требуемые новыми передовыми схемами компоновки. Пленка обладает отличной влагостойкостью, стабильным значением коэффициента k после травления и превосходной механической прочностью.

Установка Producer Black Diamond 3 предназначена для работы с системой УФ-отверждения Applied Producer Nanocure ™ 3. В Nanocure 3 используется высокоинтенсивный УФ-источник для стабилизации и уплотнения пленки Black Diamond 3 для обеспечения оптимальных механических и оптических свойств.

Этот двухступенчатый процесс осаждения и отверждения обеспечивает вдвое большую механическую прочность по сравнению с пленкой Black Diamond второго поколения от Applied, тем самым снижается нестабильная работа и повышается производительность устройства.