Установка для физического осаждения из паровой фазы Applied Materials ENDURA® HARCOBALT PVD
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
В современных устройствах скорость передачи данных из структур DRAM становится фактором, ограничивающим производительность системы. Для ускорения передачи требуются более быстрые периферийные затворы и контакты. Технология производства системы Endura HARCobalt PVD позволяет снизить сопротивление на периферийных контактах для обеспечения более высокого значения тока при низких напряжениях.
В установку интегрирована система предварительной очистки Siconi с покрытием из физического осаждения из паровой фазы кобальта и нитрида титана для прямого создания внешних контактов DRAM. Силицид кобальта обеспечивает наименьшее сопротивление контактов с высоким соотношением ширины к длине, что делает возможным получение более высоких токов возбуждения при низком напряжении, и превосходит технологию химического осаждения из паровой среды силицида титана.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Applied Materials |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
