Установка для физического осаждения из паровой фазы Applied Materials ENDURA® ALPS® PVD (CO иNI)
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Система Applied Endura ALPS (с улучшенным источником низкого давления) предлагает простой, высокопроизводительный силицидный раствор для затворов и контактов в структурах с большим относительным удлинением. Расширяя применение кобальта для технологических узлов до ≤90 нм, технология ALPS обеспечивает хорошее покрытие, без ущерба для плазмы устройства и очень низкое количество дефектов. Endura ALPS работает над агломератом титана, изменяя переходное сопротивление в контакте и уровень всасывания легирующей примеси благодаря отличному удельному сопротивлению, низкому току утечки и термической стабильности.
Для применения в логических схемах и памяти при 65 нм / 55 нм и ниже потребление кобальта на кристалл микросхемы и погрешности а на границе силицида / кремния становятся более критическими. Система Endura ALPS Ni PVD обеспечивает стабильные пленки NiSi с меньшим потреблением кремния, более плавными границами пленки и меньшим удельным сопротивлением. ALPS Ni достигает нижнего покрытия 100Å без повреждения плазмы устройства при минимизации количества частиц.
Система обладает однокамерной технологией производства Siconi Preclean для решения проблем подготовки поверхности и очистке кремния до образования NiSi. Siconi Preclean обеспечивает высокоселективный очистку (> 20: 1 SiO2: Si,> 5: 1 SiO2: SiN) без необходимости жесткого контроля времени очерёдности между очисткой и никелевым осаждением, требуемым с обычными процессами очистки. За счёт создания реактив травления в удаленном источнике плазмы, повреждение подложки значительно уменьшается, что позволяет минимально травить такие элементы топологии, как нитридные прокладки и кремниевые затворы. Кроме того, исследования устройств показывают меньшее количество дефектов спайки NiSi2 с Siconi Preclean по сравнению с традиционными технологиями.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Applied Materials |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
