Центрифуга для прецизионного нанесения фоторезиста Brewer Science Cee® 200X

Описание

Установка Cee ® 200X - центрифуга для прецизионного нанесения фоторезиста обеспечивает высококачественное нанесение фоторезиста, тонких пленок или других покрытий для химических применений. Из-за простого в использовании интерфейса, максимальной химической совместимости и компактного дизайна, Brewer Science Cee ® 200X является оптимальной установкой для исследований, университетов, МЭМС и лабораторного использования.

Центрифуга для прецизионного нанесения фоторезиста Brewer Science Cee® 200X имеет следующие преимущества: компактный дизайн, встроенный ПК контроллер, интерфейс с цветным сенсорным дисплеем и практически неограниченную память пользовательских настроек. С помощью уникальной системы непрямой передачи вращения установка Cee® 200X практически полностью устраняет риск необратимых повреждений, связанный с контактом химикатов и растворителей с двигателем. Эта особенность гарантирует нашим клиентам промышленную надежность и безотказность работы установки.

Установка Cee® 200X имеет крышку, которая может быть подключена к откачной системе и/или продуваться N₂ для улучшения контроля за чистотой процесса нанесения. Установка Cee® 200X обеспечивает нанесение фоторезиста на квадратные подложки размерами до 178 мм или на круглые подложки размерами до 200 мм и имеет высокий крутящий момент для максимального увеличения производительности. Вы также можете наносить фоторезист на подложки меньшего размера (<1 см до 200-мм) с использованием большого количества держателей. Мы предлагаем три различных варианта опций для выбора крутящего момента/числа оборотов для использования различных подложек.

Возможности программирования

• Управление со встроенного компьютера
• Сенсорный интерфейс и экран
• Полноцветный буквенно-цифровой пользовательский интерфейс
• 250000 предустановленных программ
• Практически неограниченное количество пользовательских настроек и шагов программ
• Разрешение по времени до 0,1 секунды (9999,9 секунд максимальное время шага)
• Скорость вращения: от 0 до 6000 оборотов в минуту (опция на 12000 об/мин представляется бесплатно; доступна также опция на 16000 об/мин)
• Ускорение вращения:

от 0 до 30000 оборотов в минуту/сек без загрузки
от 0 до 23000 оборотов в минуту/сек для 200-мм подложек
от 0 до 3000 оборотов в минуту /сек для фотошаблонов 150 мм х 150 мм х 6 мм установленных на патрон

• Интерфейсы: USB / Ethernet порт для передачи и выгрузки / загрузки параметров процесса нанесения фоторезиста со стандартной прошивкой (неограниченное количество пользовательских настроек и ступеней)
• Система способна поддерживать стороннее программное обеспечение высококачественных IDI / Cybor / Mykrolis поршневых насосов
• Возможность одновременного двойного автоматического дозирования
• Двухсторонняя (реверсивная) регулировка скорости патрона
• Программное обеспечение с циклическим воспроизведением
• Раздельные или компонентные выводы: 50
• Безопасность: Опция защиты паролем доступна бесплатно
• Возможность управления динамической скоростью и ускорением в процессе выполнения работы

Точность регулировки

• Воспроизводимость скорости: <0,2 оборотов в минуту
• Разрешение по скорости: <0,2 оборотов в минуту
• Размеры подложек: от <1 см до 200 мм круглая, 178 мм x178 мм квадратная

Надежность

• Непрямая передача вращения защищает двигатель от контакта с химикатами и растворителями
• Блокировка крышки и вакуума
• Лучшая в отрасли надежность и время безотказной работы
• 1 год полной гарантии на установку и комплектующие
• Бесплатная удаленная техническая поддержка (телефон, электронная почта, факс) в течение срока эксплуатации установки
• Помощь в применении в течение срока эксплуатации установки

Конструкция чаши

• Чаша из тефлона для улучшения совместимости материалов
• Уплотнительное кольцо чаши для предотвращения вытекания материала
• Дополнительная чаша из нержавеющей стали (для конструкции полностью выполненной из нержавеющей стали) в качестве опции
• Дополнительная чаша из полиэтилена (образовательный пакет) в качестве опции
• Дополнительные полиэтиленовые прокладки в качестве опции
• Дополнительное полиэтиленовое /тефлоновое кольцо от брызг в качестве опции
• Закрываемая конструкция крышки центрифуги для мобильности процесса
• Дренажный и выхлопной патрубки, расположенные в нижней части чаши
• Дополнительная продувка азотом для создания инертной атмосферы в качестве опции

Массогабаритные характеристики

• Длина 48,26 см, ширина 33,65 см, высота 30,48 см
• Вес нетто: 18,14 кг
• Вес брутто: 45,36 кг

Общие характеристики установки

• Диапазон напряжений: 100, 110-125, 208-240 В переменного тока, 50/60 Гц
• Мощность: 655 Вт
• Дренажный фланец: 1,9 см (0,75 дюйма) наружный диаметр
• Фланец для вытяжки: 2,5 см (1 дюйм) наружный диаметр
• Вакуум: 508 - 635 мм.рт.ст.
• Вытяжка: от 566 до 1415 литров в минуту при 5 мм.водн.ст.
• Азот или CDA (для автоматизированного дозирования): 4,9 кг/см²