Промышленная центрифуга для нанесения фоторезиста Brewer Science Cee® 300X

Описание

Промышленная центрифуга для нанесения фоторезиста Brewer Science Cee® 300X сочетает в себе интуитивную операционную систему на базе Windows ®, чрезвычайно точный контроль скорости вращения, и высокую мощность привода для эффективного ускорения. Эти особенности в совокупности обеспечивают исключение дополнительных технологических операций для большого числа химических процессов и применений. Установка Cee® 300X имеет новейший пользовательский интерфейс и была разработана специально для 300-мм и более пластин (матриц LCD дисплеев), а также фотошаблонов размерами вплоть до 355 мм × 355 мм.

Преимущества промышленной цетрифуги для нанесения фоторезиста

• Встроенный ПК на базе Windows ® для расширения возможностей интерфейса и коммутации
• Улучшенная функция подъема крышки (пневматическая пружина открывает на угол ≥ 45 °)
• Моноблочная стойка с обтекаемым дизайном для минимизации площади установки (отсек для хранение химикатов)
• Рабочая станция X-PRO объединяет моноблочную стоику с откачной системой сверху для создания собственного микроклимата
• (контролирует и регистрирует данные условий окружающей среды)
• Новый компактный дизайн для минимизации занимаемой площади
• Полноцветный, 7-дюймовый сенсорный дисплей
• Система привода (непрямая передача) с максимальной мощностью в своем классе

Возможности программирования

• Управление со встроенного компьютера
• Сенсорный интерфейс и экран
• 250000 предустановленных программ
• Практически неограниченное количество пользовательских настроек и шагов программ
• Разрешение по времени до 0,1 секунды (9999,9 секунд максимальное время шага)
• Скорость вращения: от 0 до 6000 оборотов в минуту (опционально доступны на 4000 об/мин и на 3000 об/мин)
• Ускорение вращения:

от 0 до 30000 оборотов в минуту/сек без загрузки
от 0 до 23000 оборотов в минуту/сек для 300-мм подложек
от 0 до 3000 оборотов в минуту/сек для круглых подложек 350 мм х 6 мм установленных на патрон
от 0 до 400 оборотов в минуту/сек для фотошаблонов 355 мм х 355 мм х 1,1 мм установленных на патрон

• Интерфейсы: USB / Ethernet порт для передачи и выгрузки / загрузки параметров процесса нанесения фоторезиста со стандартной прошивкой (неограниченное количество пользовательских настроек и ступеней)
• Система способна поддерживать стороннее программное обеспечение высококачественных IDI / Cybor / Mykrolis поршневых насосов
• Возможность одновременной работы различных (до 16) автоматизированных форсунок для дозирования
• Двухсторонняя (реверсивная) регулировка скорости патрона
• Программное обеспечение с циклическим воспроизведением
• Раздельные или компонентные выводы: 50
• Безопасность: Опция защиты паролем доступна бесплатно
• Возможность управления динамической скоростью и ускорением в процессе выполнения работы

Точность регулировки

• Воспроизводимость скорости: <0,2 оборотов в минуту
• Разрешение по скорости: <0,2 оборотов в минуту
• Размеры подложек: от <1 см до 450 мм круглая, 355 мм x 355 мм квадратная

Надежность

• Непрямая передача вращения защищает двигатель от контакта с химикатами и растворителями
• Блокировка крышки и вакуума
• Лучшая в отрасли надежность и время безотказной работы
• 1 год полной гарантии на установку и комплектующие
• Бесплатная удаленная техническая поддержка (телефон, электронная почта, факс) в течение срока эксплуатации установки
• Помощь в применении в течение срока эксплуатации установки

Конструкция чаши и вытяжного шкафа

• Конструкция полностью выполнена из нержавеющей стали
• Дополнительно чаша, покрытая ETFE для совместимости материалов в качестве опции
• Дополнительная тефлоновая/ полиэтиленовая чаша (многоразовая прокладка для чаши)
• Закрываемая конструкция крышки центрифуги для мобильности процесса
• Дополнительное полиэтиленовое /тефлоновое кольцо от брызг в качестве опции
• Дренажный и выхлопной патрубки, расположенные в нижней части чаши
• Дополнительная продувка азотом для создания инертной атмосферы в качестве опции

Массогабаритные характеристики

• Вес установки (нетто): 52,2 кг
• Вес брутто: 113,4 кг
• Размеры установки: Ширина 70,5 см × Длина 88,3 см × Высота 51,5 см

Общие характеристики установки

• Потребление энергии: 200-240 В переменного тока, 1350 Вт, 7 А
• Дренажный фланец: 2,54 см (1 дюйм) наружный диаметр
• Фланец для вытяжки: 3,8 см (1,5 дюйма) наружный диаметр
• Вакуум: 508 - 635 мм.рт.ст.
• Вытяжка: от 566 до 1415 литров в минуту при 5 мм.водн.ст.
• Азот или CDA (для автоматизированного дозирования): 4,9 кг/см²