Установка для испытаний микросхем на чувствительность к разряду статического электричества 1200E-256

Описание:

Модель 1200/1200 ELC – это первая коммерчески доступная установка для испытаний на чувствительность к разряду статического электричества, которая объединяет несколько тестов в одной системе (испытания на чувствительность к разряду статического электричества (ESD-тест), испытания на тиристорный эффект (Latch-Up -тест) и испытания по модели заряженного устройства (CDM -тест)). Данная система предполагает испытания устройств с количеством контактов до 128 и до 256 и отвечает требованиям стандартов JEDEC, ESDA или JEITA.

С помощью теста на разряд статического электричества (ESD-тест), может быть измерена взаимосвязь между разрядом и выходом устройства из строя. Тест на разряд статического электричества включает в себя модели человеческого тела (HBM) и машинную модель (MM). Модель установки 1200E включает в себя не только HBM-модель и MM-модель, но и возможность использовать другие модели на разряд статического электричества в качестве опции. Любая установка, рассчитанная на 128 или на 256 контактов может быть запрограммирована на тест любых контактов. Таким образом, при испытаниях выполняются требования большинства ESD-стандартов.

Тест на запирание или другими словами тест на тиристорный эффект (Latch-Up -тест) измеряет чувствительность тиристора в КМОП приборах, обнаруживая ток запирания. Импульс тока, импульс напряжения и импульс перенапряжения включены в основную систему в качестве триггерного источника. Кроме того, импульс в моделях HBM и ММ может быть использован для переключения тиристорного эффекта, если это необходимо. Другой триггерный источник может быть установлен как опция, поэтому может быть оценен тиристорный эффект в переходном режиме.

Для того чтобы получить стабильный результат при тесте на тиристорный эффект, очень важно стабилизировать условия испытания устройства, такие как ток питания,. Функции повышения и понижение напряжения для всех контактов обеспечивается базовой конфигурацией. Генерация испытательного сигнала предоставляется в качестве опции.

Базовая конфигурация CDM тестера, модель 1200ELC, в соответствии со стандартом JEDEC, будет включать CDM головку для воздушного разряда, которая вызывает индукционный CDM (FI-CDM или F-CDM). Дополнительно могут быть поставлены другие CDM головки DI-CDM (или D-CDM для JEITA стандарта), а также FI-CDM для ESDA или AEC стандарта. Все CDM модели имитируют быстрый воздушный разряд, вызванный зарядом металлических контактов устройства с внешним металлом.

Особенности

• 4 функции; испытания на основе различных моделей в одной системе: HBM (модель человеческого тела), MM (машинная модель), Latch-up (тиристорный эффект) и CDM (модель заряженного устройства)
• Максимальное количество контактов для тестирования – до 1500 штук
• Возможно тестирование корпусов и пластин

Применение

• Оценка уровня разработки прибора
• Проверка пригодности прибора и входной контроль
• Обеспечение качества
• Технологическая обработка прибора

ESD Тест

• Соответствует различным стандартам
• Возможно любое сочетание контактов при тестировании
• 2 режима разряда
• Возможность наблюдения процесса повреждения
• Более чем достаточные возможности для обнаружения повреждений

CDM Тест

• Соответствует различным стандартам
• Автоматические испытания
• Прямой заряд или FI-CDM
• Воспроизводимая и стабильная форма импульса разряда

Test на тиристорный эффект

• Соответствует различным стандартам
• Стабилизированный ток
• Высокоскоростной тест с помощью последовательной аппроксимации
• Высокотемпературные испытания до 125℃

Характеристики установки

Установка ESD (включая опции)

Объект испытаний, включая опции

• Измерение вольт-амперных характеристик (ВАХ)
• Моделирование разряда статического электричества (ESD)
• Испытания на ESD при различных параметрах тока и напряжения
• Отображение ВАХ на графическом дисплее

ESD испытания

• Напряжение разряда:

HBM-модель：от 5В до4500В/5В
MM-модель：от 5В до 1000В/5В
HBM-модель：до 8000В (Опция)

• Точность установки напряжения: ±5％+5В от программируемого значения
• Выбор контактов: 2-х осевой робот
• Режим разряда: 3 программных режима на выбор
• Стандарты：MIL, JEDEC, JEITA, ESDA, AEC

Измерительные приборы

• Вольтметр

от ±10мВ до±50В, 3-х разрядный, точность:2％±20мВ

• Амперметр

от ±10нА до±100мА, точность: 2％±20нА

Количество контактов

128 или 256 контактов

Испытания на тиристорный эффект (Latch-Up -тест)

Объект испытаний

• Испытания на импульс тока (тиристорный эффект)
• Испытания на импульс напряжения (тиристорный эффект)
• Испытания на электростатический разряд (тиристорный эффект)
• Испытания на бросок напряжения (тиристорный эффект)

Импульсный генератор тока

• Диапазон токов：от 1мА до 999мА/1мА шаг
• Напряжение смещения：от 1 до 50В/0,1В шаг
• Ширина импульса：от 0,1мсек до 5сек/ минимальный шаг 0.1мА
• Повторение：от 1 до 100

Вольтметр

• Напряжение：0 – 50В（Мин. шаг 0,1В）
• Сила тока

Постоянный 0 – 0,5A（Мин. шаг 100нА）
Импульсый 0 - 1A（Мин. шаг 1мА）

Генератор испытательных сигналов

• 4 временных канала: 1мксек～100мксек/1мксек шаг
• 16 временных каналов + синхронизация
• Верхний/нижний уровни：Верхний＝2 – 15В, Нижний=0В

Количество контактов

128 или 256 контактов

Испытания по модели заряженного устройства (CDM -тест)

• Модели：D-CDM и/или F-CDM
• Стандарты：JEITA, JEDEC, ESDA, AEC
• Количество выводов：Макс.1500/на прибор
• Точность позиционирования：±0.05мм
• Типы корпусов：DIP, QFP, SOP, TAB или другая
• Метод позиционирования：CCD камера, сенсор емкости, обнаружение максимума тока

Другие технические характеристики

• Температура окружающей среды：15℃- 40℃
• Влажность：менее чем 60％
• Переменное напряжение:100В±10％, 50/60Гц, 1фаза, 800ВА
• Возможно другое напряжение (опция)
• Управление: ПК, Монитор, Принтер
• Безопасность: аварийное отключение питания, блокировка, предохранитель
• Размер основного блока установки: около 530Ш×800Д×550В（мм), 60кг
• Размер дополнительного блока установки: около 570Ш×870Д×830В（мм), 90кг
• Стол для ПК：около 800Ш×800Д×1400В（мм）*

*Стол для ПК следует приобрести на месте, чтобы стоимость транспортировки морским путем была минимальной