Блоки питания для напылительных установок En-Technologies
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
Компания EN Technologies - корейская компания, работающая в сфере производства электронной техники. Номенклатура выпускаемого оборудования включает в себя блоки питания, электрические распределительные устройства, устройства беспроводного интернета. Блоки питания, производимые компанией, используются в полупроводниковой технологии, производстве ЖК дисплеев, солнечных батарей и других высокотехнологичных технологиях. Оборудование компании поставляется в различные страны, например, Японию, Тайвань.
В разделе вы можете выбрать блоки питания следующих серий: EnerPulse Duo для дуального магнетронного распыления; EnerPulse HV для ионной очистки; EnerPulse для магнетронного распыления; EnerStream для магнетронного распыления; EnerWorks/IDU-200N для дугового нанесения покрытий; Forte I для ионно-лучевой обработки; Genius для атмосферного плазменного разряда; Hercules для ионной очистки; модулятор PulseGen Duo для дуального магнетронного распыления; модулятор PulseGen для магнетронного распыления.
Биполярный импульсный блок питания для дуального магнетронного распыления EnerPulse Duo
Особенности EnerPulse Duo
Высокая надежность:
- Контроль высокой плотности импульсной плазмы
- Разработан для процессов импульсного дуального магнетронного распыления
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы
Высоконадежная защита от дуги:
- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
- Быстрое обнаружение дуги и прерывание
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
Превосходная производительность:
- Широкий рабочий диапазон
- Регулируемая частота и длительность импульса
Преимущества:
- Улучшенное качество тонких пленок за счет минимизации загрязнения мишени
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Повышенная производительность
- Низкие затраты на владение
Применения:
- TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и т.д.)
- PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
- Архитектурное стекло, Хранилища данных
- Напыление на корпуса мобильных телефонов
- ITO покрытия для сенсорных панелей
- Нанесение оптических покрытий (просветляющие покрытия и т.д.)
- Осаждение нитридов и оксидов
- PECVD процессы, импульсная очистка
Технические характеристики
|
Характеристики |
EnerPulse5 Duo |
EnerPulse10 Duo |
|
Питание |
3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц |
|
|
Выходная мощность |
5 кВТ |
10 кВт |
|
Выходное напряжение |
800 В (Max. 1200 В) |
|
|
Выходной ток |
12.5 А |
25 А |
|
Регулировка |
Мощность/Ток/Напряжение |
|
|
Форма сигнала |
Симметричный биполярный импульсный |
|
|
Частота |
20-150 кГц |
|
|
Время выключения |
2-6 мс |
|
|
Энергия дуги |
менее чем 1 мДж/кВт |
|
|
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
|
|
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 605 |
|
|
Вес, кг |
26.5 |
29.5 |
Униполярный импульсный блок питания для ионной очистки EnerPulse HV
Особенности униполярного импульсного блока питания
Высокая надежность
- Оптимизирован для высоковольтной ионной очистки и низковольтных Bias процессов
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы
Высоконадежная защита от дуги
- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
- Быстрое обнаружение дуги и прерывание
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
- Встроенный параметр управления дугой
Превосходная производительность
- Широкий рабочий диапазон
- Управление различными режимами
Преимущества:
- Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Повышенная производительность
- Низкие затраты на владение
Применения:
- Ионная бомбардировка (высоковольтная очистка)
- Pulse Bias
Технические характеристики
|
Характеристики |
EnerPulse5 HV |
EnerPulse10 HV |
|
Питание |
3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц |
|
|
Выходная мощность |
5 кВТ |
10 кВт |
|
Выходное напряжение |
1400 В |
|
|
Выходной ток |
6.5 А |
13 А (опционально до 40 А) |
|
Регулировка |
Мощность/Ток/Напряжение |
|
|
Форма сигнала |
Униполярный импульс |
|
|
Частота |
20-120 кГц |
|
|
Время выключения |
25 – 90 % |
|
|
Энергия дуги |
менее чем 1 мДж/кВт |
|
|
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
|
|
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 605 |
|
|
Вес, кг |
26.5 |
29.5 |
Импульсный блок питания постоянного тока для магнетронного распыления EnerPulse
Особенности импульсного блока питания постоянного тока EnerPulse
Высокая надежность:
- Контроль высокой плотности импульсной плазмы
- Разработан для процессов импульсного распыления
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы
Высоконадежная защита от дуги:
- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
- Быстрое обнаружение дуги и прерывание
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
- Встроенный параметр управления дугой
Превосходная производительность:
- Широкий рабочий диапазон
- Регулируемая частота и длительность импульса
Преимущества:
- Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Низкие затраты на владение
Применения:
- TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и т.д.)
- PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
- Архитектурное стекло, Хранилища данных
- Напыление на корпуса мобильных телефонов
- ITO покрытия для сенсорных панелей
- Осаждение нитридов и оксидов
- PECVD процессы, импульсная очистка
Технические характеристики
|
Характеристики |
EnerPulse5 |
EnerPulse10 |
EnerPulse10LV |
|
Питание |
3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц |
||
|
Выходная мощность |
5 кВТ |
10 кВт |
10 кВт |
|
Выходное напряжение |
800 В (Max. 1200 В) |
800 В (Max. 1200 В) |
800 В (Max. 1050 В) |
|
Выходной ток |
12.5 А |
25 А |
33.3 А |
|
Регулировка |
Мощность/Ток/Напряжение |
||
|
Форма сигнала |
Импульсный постоянный ток |
||
|
Частота |
20-150 кГц |
||
|
Время выключения |
1.5-7 мс, в режиме постоянного тока |
||
|
Энергия дуги |
менее чем 1 мДж/кВт |
||
|
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
||
|
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 605 |
||
|
Вес, кг |
26.5 |
29.5 |
29.5 |
Блок питания постоянного тока для магнетронного распыления EnerStream
Особенности блока питания постоянного тока EnerStream
Высокая надежность:
- Разработан для магнетронного распыления на постоянном токе
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы
- Уменьшенные выходные пульсации
Высоконадежная защита от дуги:
- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 0,5 мДж/кВт)
- Быстрое обнаружение дуги и прерывание
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
- Встроенный параметр управления дугой
Превосходная производительность:
- Широкий рабочий диапазон
- Возможность параллельного использования (до 160 кВт/8 блоков)
- Постоянный контроль мощности и силы тока
- Возможность использования с источником PulseGen (импульсный модулятор), что позволяет использовать блок питания как высокоемкостной источник питания
- Дружественный пользователю интерфейс
Преимущества:
- Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Повышенная производительность
- Низкие затраты на владение
Применения:
- Напыление на полупроводниковые пластины
- Металлические и TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и тд)
- PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
- Архитектурное стекло, хранилища данных
- Напыление на корпуса мобильных телефонов
- ITO покрытия для сенсорных панелей
- Напыление на автомобильные диски и производство ламп, FCCL
- Ионное азотирование
Технические характеристики
|
Характеристики |
EnerStream 10 |
EnerStream 15 |
EnerStream 20 |
|
Питание |
3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц |
||
|
Выходная мощность |
10 кВТ |
15 кВт |
20 кВт |
|
Выходное напряжение |
800 В |
||
|
Выходной ток |
25 А (400 В) |
37.5 А (400 В) |
50 А (400 В) |
|
Регулировка |
Мощность/Ток/Напряжение |
||
|
Энергия дуги |
менее чем 0.5 мДж/кВт |
||
|
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
||
|
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 605 |
||
|
Вес, кг |
26.5 |
29.5 |
29.5 |
Блок питания постоянного тока для дугового нанесения покрытий EnerWorks/IDU-200N
Особенности EnerWorks/IDU-200N
Высокая надежность:
- Оптимальное управление для дугового напыления
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Пониженные выходные пульсации
- Внутреннее циркуляционное охлаждение
- Компактные размеры
Превосходная производительность:
- Автоматический триггер и перезагрузка
- Самодиагностика
- Параллельная работа
Преимущества:
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Дружественный пользователю интерфейс
- Увеличенный выпуск продукции
- Низкие затраты на владение
Применения:
- Упрочняющие покрытия для инструментов и металлических деталей
- Декоративные цветные покрытия
- Покрытия автомобильных и электронных компонентов
- Упрочняющие покрытия для металлических корпусов мобильных телефонов
Технические характеристики
|
Характеристики |
EnerWorks 100 |
IDU-200N |
|
Питание |
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | En-Technologies |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
