Установки термо-динамического окисления со ступенями влажного скруббирования E.DOC-TH Ebara
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
Динамическое окисление – наиболее экономически выгодный способ утилизации пирофорных газов. Компания Pure Air Systems Inc. (корпорация EBARA) была пионером в области разработки систем утилизации пирофорных газов с 1999 года. Большие потоки пирофорных газов, таких как как SiH4 (силан) интенсивно используются в современной полупроводниковой промышленности и в процессах производства тонкопленочных солнечных батарей. Динамическое окисление обеспечивает один из самых надежных методов утилизации таких газов при самых низких капиталовложениях в оборудование и очень низких эксплуатационных затратах .
Установки динамического окисления могут работать в автономном режиме и быть установлены в непосредственной близости от оборудования, побочные продукты работы которого утилизируются, или так же возможно объединение установок динамического окисления в систему, обрабатывающую выбросы всего предприятия и имеющей централизованное управление. Установки E.DOC-TH объединяют преимущества методов динамического и термического окисления, а также имеют встроенный водосорбционный сруббер.
Особенности:
- Термическое окисление - высокоэффективный метод утилизации опасных газов
- Не требуется топливо
- Температура, при которой происходит реакция: 900 - 1100°C.
- Как окислитель используется воздух из окружающей среды
- Легко масштабируемая система, производительность до 1600 ст. л/мин. с 8 входами газа.
Конструктивные преимущества:
- Термическое окисление
- Динамическое окисление
- Водособционный скруббер
- Двойной блок электрического нагрева до 1100°C
- Многофункциональный распылитель воды
- Скруббер с функцией реверса
- Механизм самоочистки
- Простое обслуживание
- Минимальное время на обслуживание
Обрабатываемые вещества:
- Хлор
- Трёххлористый бор (трихлорид бора)
- Бромистый водород (бромоводород)
- Алкилфосфин (фосфин, фосфористый водород)
- Арсин (мышьяковистый водород)
- C2F6 - CF4
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Ebara |
| Страна производитель | Япония |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
